热丝法制备包含硅量子点的富硅氮化硅薄膜及其结构研究
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第12-18页 |
| 1.1 光伏发电的发展与现状 | 第12页 |
| 1.2 量子点太阳能电池设计理论与研究进展 | 第12-15页 |
| 1.2.1 第三代太阳电池的物理机理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 中间带隙量子点太阳电池 | 第14-15页 |
| 1.3 氮化硅薄膜的现状 | 第15-16页 |
| 1.4 氮化硅薄膜的常见制备方法 | 第16-17页 |
| 1.5 论文的结构 | 第17-18页 |
| 第二章 HWCVD技术介绍和薄膜的表征分析方法 | 第18-27页 |
| 2.1 HWCVD沉积法的发展及其在工业上的优势 | 第18-19页 |
| 2.2 HWCVD沉积原理 | 第19-20页 |
| 2.3 热丝的选择与寿命 | 第20-21页 |
| 2.4 热丝与衬底的预处理 | 第21-22页 |
| 2.5 实验样品的表征与分析方法 | 第22-27页 |
| 2.5.1 X射线衍射图谱（XRD） | 第22-23页 |
| 2.5.2 傅里叶变换红外光谱（FTIR） | 第23页 |
| 2.5.3 紫外-可见光光度法（UV-VIS） | 第23-26页 |
| 2.5.4 光致发光谱线（PL） | 第26页 |
| 2.5.5 扫描电子显微镜（SEM） | 第26-27页 |
| 第三章 氮气制备富硅氮化硅及其性能的研究 | 第27-34页 |
| 3.1 实验简介 | 第27页 |
| 3.2 实验内容 | 第27-28页 |
| 3.3 结果与分析 | 第28-33页 |
| 3.3.1 傅里叶变换红外光谱分析 | 第28-30页 |
| 3.3.2 紫外-可见光谱分析 | 第30-32页 |
| 3.3.3 X射线衍射谱分析 | 第32-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 氢气制备氮化硅薄膜及其性能的研究 | 第34-42页 |
| 4.1 实验简介 | 第34页 |
| 4.2 实验 | 第34-35页 |
| 4.3 结果与分析 | 第35-41页 |
| 4.3.1 傅里叶变换红外光谱分析 | 第35-37页 |
| 4.3.2 X射线衍射谱分析 | 第37-38页 |
| 4.3.3 紫外-可见光谱分析 | 第38-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 热丝温度对富硅氮化硅薄膜性能的影响 | 第42-50页 |
| 5.1 实验简介 | 第42页 |
| 5.2 实验 | 第42-43页 |
| 5.3 结果与分析 | 第43-49页 |
| 5.3.1 傅里叶变换红外光谱分析 | 第43-45页 |
| 5.3.2 紫外可见光谱分析 | 第45-47页 |
| 5.3.3 PL光谱分析 | 第47-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 论文的主要结论及展望 | 第50-52页 |
| 6.1 论文的主要结论 | 第50-51页 |
| 6.2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读硕士期间发表和完成的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
