| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 前言 | 第10-19页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·四氯化硅制备三氯氢硅工艺研究现状 | 第11-12页 |
| ·四氯化硅热氢化制备三氯氢硅研究现状 | 第11-12页 |
| ·四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅研究现状 | 第12页 |
| ·四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅研究现状 | 第12页 |
| ·几种氢化方式的比较 | 第12页 |
| ·化工装置的仿真培训系统研究现状 | 第12-17页 |
| ·仿真技术与组态软件简介 | 第12-13页 |
| ·国内外仿真培训系统研究综述 | 第13-17页 |
| ·课题研究内容和应用前景 | 第17-19页 |
| ·课题研究内容 | 第17-18页 |
| ·课题应用前景 | 第18-19页 |
| 第2章 多晶硅核心装置操作仿真系统的需求分析与系统设计 | 第19-28页 |
| ·四氯化硅制备三氯氢硅冷氢化反应工艺 | 第19-20页 |
| ·多晶硅核心生产装置主要装置及参数 | 第20-22页 |
| ·冷氢化反应器 | 第20-21页 |
| ·STC汽化器 | 第21页 |
| ·反应气电加热器 | 第21-22页 |
| ·尾气洗涤塔 | 第22页 |
| ·冷氢化制备三氯氢硅的具体工作流程 | 第22-24页 |
| ·正常开车操作程序 | 第22-23页 |
| ·正常停车操作程序 | 第23-24页 |
| ·操作仿真系统需求分析和系统设计 | 第24-26页 |
| ·操作仿真系统需求分析 | 第24-25页 |
| ·操作仿真系统控制点和显示变量设计 | 第25-26页 |
| ·系统开发的程序开发平台和运行环境 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 三氯氢硅生产装置的数学模型 | 第28-38页 |
| ·化工过程数学模型的建模思想 | 第28页 |
| ·化工过程建模的方法步骤 | 第28-29页 |
| ·冷氢化反应器的数学模型 | 第29-31页 |
| ·冷氢化反应器的出口温度和中间温度 | 第29-30页 |
| ·冷氢化反应器的实际操作气体速度计算 | 第30页 |
| ·冷氢化反应器的转化率计算方法 | 第30-31页 |
| ·冷氢化反应器生成三氯氢硅的质量 | 第31页 |
| ·STC汽化器装置的数学模型 | 第31-35页 |
| ·STC汽化器装置数学建模分析 | 第31-32页 |
| ·STC汽化器数学模型的建立 | 第32页 |
| ·STC汽化器数学模型的求解 | 第32-34页 |
| ·STC汽化器的简化模型 | 第34-35页 |
| ·反应气电加热器的数学模型 | 第35-36页 |
| ·管道数学模型 | 第36-37页 |
| ·管道模型主要参数 | 第36页 |
| ·管道数学模型的建立 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 多晶硅核心生产装置后台仿真模块的开发 | 第38-49页 |
| ·后台仿真模块开发总述 | 第38-39页 |
| ·仿真模块开发环境简介 | 第38页 |
| ·后台仿真模块整体设计 | 第38-39页 |
| ·冷氢化反应器仿真模块的实现 | 第39-42页 |
| ·数学模型分析 | 第39-40页 |
| ·模块仿真程序计算方法分析 | 第40页 |
| ·模块仿真程序运算表达式 | 第40-41页 |
| ·模块仿真程序的程序代码 | 第41页 |
| ·模块仿真程序的界面 | 第41-42页 |
| ·STC汽化器仿真模块的实现 | 第42-46页 |
| ·数学模型分析 | 第42-43页 |
| ·模块仿真程序计算方法分析 | 第43页 |
| ·模块仿真程序运算表达式 | 第43-44页 |
| ·块仿真程序的程序代码 | 第44-45页 |
| ·模块仿真程序的界面 | 第45-46页 |
| ·反应气电加热器仿真模块的实现 | 第46-48页 |
| ·数学模型分析 | 第46页 |
| ·模块仿真程序计算方法分析 | 第46-47页 |
| ·模块仿真程序的程序代码 | 第47页 |
| ·模块仿真程序的界面 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 多晶硅核心装置操作仿真系统组态功能的实现 | 第49-66页 |
| ·紫金桥组态软件的介绍 | 第49-50页 |
| ·操作仿真系统主要界面开发 | 第50-52页 |
| ·系统的安全登录界面 | 第50页 |
| ·操作仿真系统主界面 | 第50-52页 |
| ·操作仿真系统功能的实现 | 第52-65页 |
| ·工程分析 | 第52-53页 |
| ·制作工程画面 | 第53页 |
| ·定义点组态 | 第53-55页 |
| ·动画连接 | 第55-59页 |
| ·编写控制流程 | 第59-61页 |
| ·异常报警功能的实现 | 第61-63页 |
| ·生产报表的输出功能实现 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 多晶硅核心生产装置操作仿真系统应用实例 | 第66-75页 |
| ·氮气置换仿真模块应用实例 | 第66-69页 |
| ·氢气置换仿真模块应用实例 | 第69-71页 |
| ·反应器预热仿真模块应用实例 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第7章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·总结 | 第75页 |
| ·展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |