基于白光干涉技术的表面粗糙度测量
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第13-14页 |
| ·相移干涉术的研究现状和发展趋势 | 第14-16页 |
| ·相位提取算法 | 第14-15页 |
| ·相位解包裹算法 | 第15-16页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 表面粗糙度测量理论 | 第17-26页 |
| ·表面粗糙度理论 | 第17-18页 |
| ·测量方向选取 | 第17-18页 |
| ·取样长度 | 第18页 |
| ·评定长度 | 第18页 |
| ·评定基准线 | 第18页 |
| ·相移干涉术原理在表面粗糙度测量中的应用 | 第18-22页 |
| ·干涉显微镜系统 | 第19-20页 |
| ·白光干涉相移法 | 第20-22页 |
| ·位相移动的误差分析 | 第22-23页 |
| ·位相测量轮廓术的基本原理 | 第22页 |
| ·相移误差的FFT 补偿算法 | 第22-23页 |
| ·粗糙度三维评定参数 | 第23-25页 |
| ·高度参数 | 第23-24页 |
| ·空间参数 | 第24-25页 |
| ·综合参数 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 糙度测量系统软硬件设计 | 第26-37页 |
| ·系统测量原理 | 第26页 |
| ·系统硬件设计 | 第26-34页 |
| ·压电晶体误差分析 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷晶体线性区域标定 | 第28-30页 |
| ·系统结构设计 | 第30-32页 |
| ·相移系统中误差源分析 | 第32-34页 |
| ·系统软件的设计 | 第34-36页 |
| ·采集图像软件 | 第34-35页 |
| ·图形数据处理软件设计 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 高斯滤波及改进算法在测量系统中的应用 | 第37-45页 |
| ·数字滤波器的分类 | 第37-39页 |
| ·FIR 滤波器模型分析 | 第37-38页 |
| ·IIR 滤波器模型分析 | 第38-39页 |
| ·高斯滤波原理 | 第39-43页 |
| ·一维高斯滤波器 | 第39-40页 |
| ·单位高斯冲激响应 | 第40-41页 |
| ·单位高斯阶跃响应 | 第41-42页 |
| ·二维的高斯滤波 | 第42-43页 |
| ·改进算法研究 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 实验及结果 | 第45-53页 |
| ·测量系统光路的调整 | 第45-46页 |
| ·高斯滤波评定及仿真 | 第46-49页 |
| ·信号的一维高斯滤波模型 | 第46-47页 |
| ·二维高斯滤波仿真 | 第47-49页 |
| ·Ra 参数的比较 | 第49-51页 |
| ·系统的分辨率 | 第51-52页 |
| ·水平分辫率 | 第51页 |
| ·垂直分辫率 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
