基于衍射元件制作误差分析的激光写入策略优化技术研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章 绪论	第10-20页
·课题研究的背景、目的和意义	第10-14页
·国内外在该方向的研究现状及分析	第14-18页
·激光直写机研究现状	第14-15页
·标量衍射理论研究现状	第15-16页
·矢量分析方法研究现状	第16-17页
·激光直写误差研究现状	第17-18页
·课题来源及主要研究内容	第18-20页
第2章 光栅衍射效率标量与矢量分析对比	第20-32页
·引言	第20页
·连续位相衍射光学元件的衍射效率分析	第20-21页
·基于标量衍射理论的二元位相光栅衍射效率分析	第21-23页
·基于矢量衍射理论的二元位相光栅衍射效率分析	第23-31页
·理论分析	第23-29页
·数值分析	第29-31页
·本章小结	第31-32页
第3章 基于标量衍射的制作误差对光栅性能影响分析	第32-45页
·引言	第32页
·位相深度误差对衍射效率影响分析	第32-35页
·台阶宽度误差对衍射效率影响分析	第35-41页
·等大宽度误差对衍射效率影响分析	第36-38页
·台阶独立误差对衍射效率影响分析	第38页
·低台阶数非等宽高衍射效率光栅设计方法	第38-41页
·斜坡误差对衍射效率的影响分析	第41-43页
·本章小结	第43-45页
第4章 斜面近似误差对菲涅尔透镜焦距的影响分析	第45-58页
·引言	第45页
·菲涅尔透镜的基本原理	第45-46页
·菲涅尔透镜焦距和刻蚀深度模型	第46-48页
·斜面近似产生的弥散焦距	第48-52页
·仿真结果及分析	第52-57页
·本章小结	第57-58页
结论	第58-60页
参考文献	第60-63页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果	第63-65页
致谢	第65页