基于自适应遗传模拟退火算法的薄膜椭偏测量的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·椭圆偏振测量术的发展 | 第11-12页 |
| ·椭偏测量技术的应用 | 第12-13页 |
| ·椭偏数据处理的历史发展和现状 | 第13-18页 |
| ·椭偏数据处理的解析解法 | 第14-15页 |
| ·椭偏数据处理的数值解法 | 第15-18页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第18页 |
| ·论文的主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章 椭圆偏振测量术的基本原理 | 第20-30页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·椭偏测量的基本原理 | 第20-22页 |
| ·反射式椭圆偏振测量的基本理论 | 第22-28页 |
| ·菲涅耳理论 | 第22-24页 |
| ·光在单层介质薄膜上的反射 | 第24-27页 |
| ·光在多层介质薄膜上的反射 | 第27-28页 |
| ·椭偏分析 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 自适应遗传模拟退火混合算法 | 第30-44页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·遗传算法 | 第31-37页 |
| ·遗传算法的基本理论 | 第32-35页 |
| ·遗传算法与其它搜索算法的对比 | 第35页 |
| ·遗传算法的主要缺陷 | 第35-36页 |
| ·自适应遗传算法 | 第36-37页 |
| ·模拟退火算法 | 第37-40页 |
| ·模拟退火算法的基本理论 | 第37-39页 |
| ·模拟退火算法的主要缺陷 | 第39-40页 |
| ·联合算法的实现 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 数值模拟计算 | 第44-56页 |
| ·单层膜数值模拟计算 | 第44-48页 |
| ·双层膜数值模拟计算 | 第48-51页 |
| ·三层膜数值模拟计算 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
