直接在石英表面生长石墨烯及其气敏特性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·石墨烯的基本性质 | 第11-13页 |
| ·直接在衬底上生长石墨烯的研究进展 | 第13-15页 |
| ·石墨烯的气敏特性的研究进展 | 第15-17页 |
| ·研究目标 | 第17页 |
| ·研究内容 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-21页 |
| 第二章 石墨烯薄膜的检测及性能测试方法 | 第21-33页 |
| ·纳米薄膜材料表征技术 | 第21-27页 |
| ·拉曼光谱 | 第21-23页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第23-24页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第24-25页 |
| ·透射电子显微镜（TEM） | 第25-26页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS） | 第26-27页 |
| ·纳米薄膜材料性能测量 | 第27-32页 |
| ·电学性能的测量 | 第27-29页 |
| ·光学性能的测量 | 第29-30页 |
| ·气体化学敏感性能的测量 | 第30-32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 第三章 直接在石英上生长石墨烯及其生长机理探究 | 第33-52页 |
| ·在石英上生长石墨烯的制备 | 第33-43页 |
| ·生长原料和器材的准备 | 第33页 |
| ·石墨烯的生长流程 | 第33-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| ·石英衬底表面生长石墨烯的机制及性能 | 第43-50页 |
| ·石英（SiO_2）衬底表面的等离子处理 | 第43-44页 |
| ·石墨烯在石英表面的生长机制 | 第44-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 第四章 直接生长在石英表面的石墨烯气敏特性探究 | 第52-63页 |
| ·气敏原件制作 | 第52-56页 |
| ·直接生长在石英表面石墨烯气敏原件的制作 | 第52-53页 |
| ·铜催化 CVD 石墨烯气敏原件的制备 | 第53-56页 |
| ·石墨烯的气敏特性测试 | 第56-61页 |
| ·气敏特性测试系统 | 第56-57页 |
| ·石墨烯的气敏特性测试 | 第57-60页 |
| ·石墨烯气敏原件响应机理 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
| 第五章 总结和展望 | 第63-65页 |
| 硕士期间主要研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
