反波导垂直腔面发射激光器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·VCSEL 的发展过程 | 第9-12页 |
| ·VCSEL 的应用 | 第12-13页 |
| ·VCSEL 存在的主要问题 | 第13-15页 |
| ·反波导 VCSEL 的研究进展 | 第15-17页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第17-19页 |
| 第2章 VCSEL 的理论基础 | 第19-31页 |
| ·F-P 腔谐振模型 | 第19-22页 |
| ·频率条件 | 第20-21页 |
| ·增益条件 | 第21-22页 |
| ·DBR 理论 | 第22-26页 |
| ·DBR 的光学性质 | 第23-25页 |
| ·DBR 的电学性质 | 第25-26页 |
| ·VCSEL 的横模 | 第26-27页 |
| ·输出功率与注入电流的关系 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 反波导结构与反谐振反射光波导 VCSEL | 第31-51页 |
| ·反波导结构中的泄漏模及其损耗 | 第31-33页 |
| ·腔诱导 ARROW 结构 | 第33-37页 |
| ·反谐振反射光波导结构横向模式的计算和损耗分析 | 第37-46页 |
| ·圆柱型 ARROW 模型的建立 | 第37-39页 |
| ·横向光场计算结果和分析 | 第39-41页 |
| ·圆柱型 ARROW 结构的损耗分析 | 第41-46页 |
| ·三维 FDTD 仿真结果与分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 工艺制备 | 第51-59页 |
| ·ARROW 结构 VCSEL 的制备流程 | 第52页 |
| ·ARROW 结构 VCSEL 的工艺制备 | 第52-58页 |
| ·含腐蚀停的湿法腐蚀 | 第52-54页 |
| ·二次外延前的处理 | 第54-55页 |
| ·自对准工艺与质子注入 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 测试与分析 | 第59-65页 |
| ·P-I-V 特性测试 | 第59-60页 |
| ·光谱测试 | 第60-61页 |
| ·二次外延 DBR 电学特性的测试 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
