基于图像处理技术的开路关键面积提取
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·关键面积研究的背景和意义 | 第9-13页 |
| ·关键面积的研究内容和现状 | 第13-17页 |
| ·本论文的内容与安排 | 第17-19页 |
| 第二章 数学形态学基本理论 | 第19-37页 |
| ·结构元素 | 第20-22页 |
| ·结构元素类别 | 第20-21页 |
| ·结构元素的组合与多尺度 | 第21-22页 |
| ·结构元素的选取原则 | 第22页 |
| ·膨胀和腐蚀 | 第22-26页 |
| ·图像基本概念 | 第22-23页 |
| ·腐蚀运算 | 第23-24页 |
| ·膨胀运算 | 第24页 |
| ·膨胀和腐蚀的代数性质 | 第24-25页 |
| ·膨胀和腐蚀的滤波性质 | 第25-26页 |
| ·开运算和闭运算 | 第26-28页 |
| ·开运算 | 第26-27页 |
| ·闭运算 | 第27-28页 |
| ·开闭运算的滤波特性 | 第28页 |
| ·击中击不中变换 | 第28-33页 |
| ·击中击不中变换 | 第29-30页 |
| ·目标识别与定位 | 第30-33页 |
| ·形态学细化 | 第33-34页 |
| ·细化算法 | 第33-34页 |
| ·细化基本原则 | 第34页 |
| ·快速膨胀和腐蚀运算 | 第34-36页 |
| ·膨胀和腐蚀快速算法设计 | 第35页 |
| ·膨胀和腐蚀快速算法分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 工艺缺陷研究 | 第37-53页 |
| ·缺陷与故障 | 第37页 |
| ·缺陷模型 | 第37-41页 |
| ·缺陷空间分布模型 | 第38页 |
| ·缺陷粒径分布模型 | 第38-40页 |
| ·缺陷轮廓模型 | 第40-41页 |
| ·缺陷的类型 | 第41-43页 |
| ·氧化物针孔缺陷 | 第41-42页 |
| ·PN 结泄露缺陷 | 第42页 |
| ·冗余物缺陷 | 第42页 |
| ·丢失物缺陷 | 第42-43页 |
| ·缺陷特征描述 | 第43-47页 |
| ·缺陷分解 | 第47-50页 |
| ·缺陷的可分解性 | 第47-48页 |
| ·矩形缺陷的分解 | 第48-49页 |
| ·圆形缺陷的分解 | 第49-50页 |
| ·缺陷建模 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-53页 |
| 第四章 基于线网流向轴的开路关键面积提取 | 第53-77页 |
| ·关键面积 | 第53-56页 |
| ·关键面积基本概念 | 第53-54页 |
| ·关键面积分类 | 第54-56页 |
| ·基于线网流向轴的开路关键面积计算模型 | 第56-60页 |
| ·开路关键区域与线网边界 | 第56页 |
| ·基于线网流向轴的开路关键面积计算模型 | 第56-60页 |
| ·基于线网流向轴的开路关键面积提取算法 | 第60-66页 |
| ·版图和缺陷的矩阵表示 | 第60-61页 |
| ·缺陷中心 | 第61页 |
| ·基于线网流向轴的开路关键面积提取算法 | 第61-66页 |
| ·开路关键面积提取实验结果 | 第66-73页 |
| ·线网开路关键面积及灵敏度 | 第66-71页 |
| ·集成电路版图开路关键面积提取 | 第71-73页 |
| ·基于线网流向轴的开路关键面积提取算法分析 | 第73-75页 |
| ·本文算法的精度 | 第73-74页 |
| ·本文算法的适用性 | 第74页 |
| ·本文算法的时间复杂度 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 开路关键面积的应用研究 | 第77-89页 |
| ·版图优化与成品率提升 | 第77-78页 |
| ·成品率模型 | 第77页 |
| ·基于关键面积减小的版图优化 | 第77-78页 |
| ·基于线网宽度调整的版图优化 | 第78-83页 |
| ·基于线间距离调整的版图优化 | 第83-86页 |
| ·本章小结 | 第86-89页 |
| 第六章 总结与展望 | 第89-91页 |
| ·工作总结 | 第89-90页 |
| ·工作展望 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-101页 |
| 研究成果 | 第101-102页 |
