| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·论文的背景及意义 | 第10页 |
| ·国内外研究和发展现状 | 第10-17页 |
| ·MEMS 陀螺仪技术的研究及发展现状 | 第10-15页 |
| ·MEMS 器件电容检测电路研究和发展现状 | 第15-17页 |
| ·论文的主要内容及章节安排 | 第17-19页 |
| 第二章 旋转弹用 MEMS 陀螺仪的原理及其电学特性分析 | 第19-28页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪基本原理 | 第19-21页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪动力学模型和动力学参数 | 第21-25页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪的动力学模型 | 第21-22页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪的动力学参数 | 第22-25页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪电学特性分析 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 静态电容检测系统设计与测试 | 第28-37页 |
| ·静态电容检测系统总体设计 | 第28-34页 |
| ·电容检测芯片模块设计 | 第28-30页 |
| ·控制模块 | 第30-32页 |
| ·上位机模块设计 | 第32-34页 |
| ·静态电容检测系统的性能测试 | 第34-36页 |
| ·静态电容检测系统测量准确度实验 | 第34-35页 |
| ·静态电容检测电路线性度实验和标定 | 第35-36页 |
| ·本章小节 | 第36-37页 |
| 第四章 动态检测电路设计 | 第37-52页 |
| ·微小电容检测的方法介绍 | 第37-39页 |
| ·动态电容检测电路整体设计方案 | 第39-47页 |
| ·C-V 转化模块 | 第40-42页 |
| ·高频载波发生模块 | 第42-44页 |
| ·调理放大模块 | 第44-46页 |
| ·载波解调模块 | 第46-47页 |
| ·动态电容检测电路的测试 | 第47-51页 |
| ·模块测试 | 第47-50页 |
| ·动态电容检测电路综合测试 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 旋转弹用 MEMS 陀螺仪输出特性测试和相关实验 | 第52-65页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪电容特性测试 | 第52-56页 |
| ·陀螺仪的静态平衡电容测量 | 第52-53页 |
| ·陀螺仪的加速度-电容灵敏度标定实验 | 第53-55页 |
| ·陀螺仪的动态平衡电容输出信号测试 | 第55-56页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪角速率敏感特性 | 第56-64页 |
| ·旋转弹用 MEMS 陀螺仪哥氏效应分析 | 第57-58页 |
| ·两轴角速率输入实验 | 第58-63页 |
| ·三轴角速率输入实验 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文工作总结 | 第65页 |
| ·未来工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
