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热式气体质量流量计传感芯片的研制

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-12页
   ·课题研究的背景第8-9页
   ·国内外空气流量传感器发展现状第9-10页
   ·课题的提出第10-12页
2 热式气体流量计原理及技术规划第12-27页
   ·空气流量传感器介绍第12-19页
   ·热膜式电阻的工作原理和结构第19-21页
   ·热膜电阻的传热分析第21-25页
   ·技术方案规划第25-27页
3 技术方案第27-58页
   ·技术方案一第27-31页
   ·技术方案二第31-44页
   ·技术方案三第44-52页
   ·技术方案四第52-58页
4 厚膜电路基板的研究第58-62页
   ·陶瓷纤维纸浸渍配制溶液后烘干烧结第58-60页
   ·制作多孔陶瓷结构第60-62页
5 热敏电阻烧结工艺研究第62-67页
   ·峰值温度的研究第62-65页
   ·烧结工艺第65-67页
6 结论及展望第67-69页
   ·结论第67-68页
   ·展望第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-73页

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