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泰曼—格林型球面镜片在线非接触检验技术研究

中文摘要第1-3页
Abstract第3-4页
中文文摘第4-6页
目录第6-9页
第一章 绪论第9-15页
   ·引言第9-10页
   ·论文产生的背景及意义第10页
   ·国内外发展状况第10-13页
     ·国内的发展状况第10-12页
     ·国外的发展状况第12-13页
   ·论文研究的主要内容第13-15页
第二章 光波的干涉理论和球面镜片检验方法第15-25页
   ·引言第15页
   ·光波的干涉概念第15-20页
     ·光干涉基础第15-16页
     ·干涉条纹的衬比度第16页
     ·牛顿环第16-17页
     ·两相干光源的干涉现象第17-20页
   ·面形偏差的检验第20-23页
     ·面形偏差第20-21页
     ·样板检验法第21-22页
     ·图像处理法第22-23页
   ·本章小结第23-25页
第三章 泰曼-格林型干涉仪的系统设计及其应用第25-47页
   ·引言第25页
   ·泰曼-格林干涉仪概况第25-26页
   ·镜面曲率半径偏差AR与光圈数N的关系第26-28页
   ·牛顿环的计算方法第28-29页
   ·光圈的计算方法第29-31页
   ·光圈的识别第31页
   ·波面面形质量的判断第31-33页
   ·干涉系统的总体设计第33-38页
     ·Zemax软件模拟实验第33-35页
     ·检验系统的设计第35-38页
     ·系统结构的优势第38页
   ·实验平台搭建和实验样机采样第38-40页
   ·干涉条纹的采集系统第40-43页
   ·图像数字化处理基础第43-44页
   ·本章小结第44-47页
第四章 干涉条纹的图像处理与计算拟合第47-67页
   ·干涉图样的特点第47页
   ·图像的数字化处理第47-48页
   ·图像处理步骤第48-58页
     ·输入干涉图像第48-49页
     ·图像的预处理第49-53页
     ·干涉图像的二值化第53-54页
     ·干涉图像的数学形态学处理第54-55页
     ·图像细化第55-58页
   ·干涉条纹波面的拟合第58-64页
     ·Zernike的理论基础第58-60页
     ·Zernike的计算方法第60页
     ·波面拟合第60-64页
   ·拟合结论第64-65页
   ·本章小结第65-67页
第五章 总结与展望第67-69页
   ·结论第67-68页
   ·展望第68-69页
附录第69-75页
 附录1 Zernike多项式程序代码第69-73页
 附录2 Zernike多项式前28项第73-75页
参考文献第75-79页
攻读学位期间承担的科研任务与主要成果第79-81页
致谢第81-83页
个人简历第83-84页

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