基于阴极周期往复运动的微细电解加工试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·电解加工的原理及特点 | 第12页 |
| ·微细加工技术及其发展状况 | 第12-15页 |
| ·微细电火花加工 | 第12-13页 |
| ·LIGA 技术和准LIGA 技术 | 第13-14页 |
| ·高能束流微细加工 | 第14-15页 |
| ·微细电解加工技术 | 第15-18页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第15页 |
| ·电液流微细电解加工 | 第15-16页 |
| ·EFAB 技术 | 第16页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第16-17页 |
| ·脉冲电流微细电解加工 | 第17-18页 |
| ·本课题来源及主要研究内容 | 第18-20页 |
| ·课题来源以及研究意义 | 第18页 |
| ·本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 阴极周期往复运动的微细电解加工 | 第20-30页 |
| ·电解加工的法拉第定律 | 第20页 |
| ·加工间隙内的电场分布 | 第20-21页 |
| ·阳极极化及其特征 | 第21-22页 |
| ·微细电解加工的特点 | 第22-23页 |
| ·影响微孔电解加工性能的因素分析 | 第23-25页 |
| ·影响加工稳定性的因素分析 | 第23页 |
| ·影响加工精度的因素分析 | 第23-25页 |
| ·阴极周期往复运动的微细电解加工研究 | 第25-29页 |
| ·直线电机的发展及其在电火花加工机床中的应用 | 第25页 |
| ·振动进给、脉冲电流电解加工技术 | 第25-26页 |
| ·阴极周期往复运动的微细电解加工技术 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 阴极周期往复运动的微细电解加工装置 | 第30-39页 |
| ·阴极周期往复运动的微细电解加工装置的组成 | 第30-32页 |
| ·加工系统的试验装置 | 第32-34页 |
| ·往复运动装置的设计 | 第32-33页 |
| ·加工电源的选择 | 第33-34页 |
| ·加工试验系统的控制部分 | 第34-38页 |
| ·加工试验系统的硬件构成 | 第34-35页 |
| ·音圈电机的PID 调节 | 第35-36页 |
| ·加工试验的运动控制方案与控制软件 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 阴极周期往复运动的微细电解加工试验研究 | 第39-56页 |
| ·微孔加工的实验准备 | 第39-40页 |
| ·微细电极的装夹 | 第39页 |
| ·加工对刀 | 第39-40页 |
| ·电解液的选用 | 第40页 |
| ·微细电解加工工具电极的制备 | 第40-47页 |
| ·微细圆柱电极的制备 | 第40-43页 |
| ·阴极的侧壁绝缘 | 第43-47页 |
| ·绝缘前的基体处理 | 第45页 |
| ·阴极绝缘 | 第45-47页 |
| ·微孔电解加工试验与分析 | 第47-55页 |
| ·阴极周期往复运动对加工结果的影响 | 第47-48页 |
| ·阴极回退加速度对侧面加工间隙的影响 | 第48-50页 |
| ·阴极回退高度对侧面加工间隙的影响 | 第50-51页 |
| ·实际周期加工时间对侧面加工间隙的影响 | 第51-53页 |
| ·不同板材厚度对孔加工结果的影响 | 第53-54页 |
| ·电流密度对侧面加工间隙的影响 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·论文研究工作总结 | 第56页 |
| ·对未来工作的展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第62页 |
