摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
第1章 引言 | 第9-15页 |
·研究背景 | 第9-10页 |
·研究现状及分析 | 第10-12页 |
·研究进展及若干问题 | 第12-13页 |
·本论文的研究意义及主要内容 | 第13-15页 |
第2章 钛酸铋薄膜的结构及制备方法 | 第15-19页 |
·钛酸铋的结构 | 第15-16页 |
·钛酸铋薄膜制备方法 | 第16-18页 |
·溶胶-凝胶法 | 第16-17页 |
·射频溅射法 | 第17页 |
·脉冲激光沉积法 | 第17-18页 |
·金属有机化学气相沉积法 | 第18页 |
·小结 | 第18-19页 |
第3章 钛酸铋微粉及薄膜研究 | 第19-27页 |
·钛酸铋前驱体溶液的合成 | 第19-20页 |
·钛酸铋微粉的制备及表征 | 第20-22页 |
·钛酸铋电容器的制备及铁电性能研究 | 第22-25页 |
·小结 | 第25-27页 |
第4章 掺镧钛酸铋铁电电容器的制备及性能研究 | 第27-39页 |
·Pt底电极对掺镧钛酸铋电容器的影响 | 第27-34页 |
·Pt底电极的制备及表征 | 第27-29页 |
·BLT薄膜的制备及表征 | 第29-31页 |
·Pt/BLT/Pt薄膜电容器的构造及电学性能测试 | 第31-34页 |
·退火温度对BLT薄膜电容器的影响 | 第34-38页 |
·小结 | 第38-39页 |
第5章 BLT/PZT/BLT复合铁电薄膜性能研究 | 第39-44页 |
·BLT/PZT/BLT和LSCO/PZT/LSCO电容器的制备 | 第39-40页 |
·BLT/PZT/BLT电容器性能研究 | 第40-43页 |
·小结 | 第43-44页 |
第6章 结束语 | 第44-46页 |
参考文献 | 第46-51页 |
攻读硕士期间发表的学术论文 | 第51-52页 |
致谢 | 第52页 |