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钛酸铋铁电薄膜的掺杂改性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 引言第9-15页
   ·研究背景第9-10页
   ·研究现状及分析第10-12页
   ·研究进展及若干问题第12-13页
   ·本论文的研究意义及主要内容第13-15页
第2章 钛酸铋薄膜的结构及制备方法第15-19页
   ·钛酸铋的结构第15-16页
   ·钛酸铋薄膜制备方法第16-18页
     ·溶胶-凝胶法第16-17页
     ·射频溅射法第17页
     ·脉冲激光沉积法第17-18页
     ·金属有机化学气相沉积法第18页
   ·小结第18-19页
第3章 钛酸铋微粉及薄膜研究第19-27页
   ·钛酸铋前驱体溶液的合成第19-20页
   ·钛酸铋微粉的制备及表征第20-22页
   ·钛酸铋电容器的制备及铁电性能研究第22-25页
   ·小结第25-27页
第4章 掺镧钛酸铋铁电电容器的制备及性能研究第27-39页
   ·Pt底电极对掺镧钛酸铋电容器的影响第27-34页
     ·Pt底电极的制备及表征第27-29页
     ·BLT薄膜的制备及表征第29-31页
     ·Pt/BLT/Pt薄膜电容器的构造及电学性能测试第31-34页
   ·退火温度对BLT薄膜电容器的影响第34-38页
   ·小结第38-39页
第5章 BLT/PZT/BLT复合铁电薄膜性能研究第39-44页
   ·BLT/PZT/BLT和LSCO/PZT/LSCO电容器的制备第39-40页
   ·BLT/PZT/BLT电容器性能研究第40-43页
   ·小结第43-44页
第6章 结束语第44-46页
参考文献第46-51页
攻读硕士期间发表的学术论文第51-52页
致谢第52页

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