| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第一章 概述 | 第16-34页 |
| ·引言 | 第16-17页 |
| ·ZnO薄膜的基本特性 | 第17-19页 |
| ·掺杂ZnO薄膜的导电机理 | 第19页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的应用 | 第19-22页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的研究现状 | 第22-27页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的国内研究现状 | 第24-26页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的国外研究现状 | 第26-27页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的制备 | 第27-32页 |
| ·磁控溅射法 | 第27-28页 |
| ·喷雾热分解 | 第28-29页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法 | 第29-30页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第30-31页 |
| ·激光分子束外延 | 第31页 |
| ·溶胶一凝胶法 | 第31-32页 |
| ·其它方法 | 第32页 |
| ·课题研究的意义和主要内容 | 第32-34页 |
| ·课题研究的意义 | 第32-33页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第33-34页 |
| 第二章 溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜原理 | 第34-43页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜技术概述 | 第34-36页 |
| ·溶胶一凝胶法制备薄膜技术的发展过程 | 第34-35页 |
| ·溶胶—凝胶技术的特点 | 第35-36页 |
| ·溶胶凝胶法制备薄膜的工艺过程 | 第36-39页 |
| ·溶胶的制备 | 第36-37页 |
| ·凝胶制备及原理 | 第37-38页 |
| ·锻烧和烧结 | 第38-39页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜的方法 | 第39-40页 |
| ·提拉法 | 第39-40页 |
| ·旋转涂覆法 | 第40页 |
| ·喷涂法 | 第40页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜的影响因素 | 第40-43页 |
| ·水解度 | 第41页 |
| ·催化剂 | 第41页 |
| ·溶胶浓度 | 第41页 |
| ·成胶温度 | 第41-43页 |
| 第三章 ZnO薄膜的表征技术 | 第43-52页 |
| ·ZnO薄膜的结构分析—X射线衍射(XRD) | 第43-45页 |
| ·晶向的标定 | 第44-45页 |
| ·估算晶粒尺寸 | 第45页 |
| ·计算晶格常数 | 第45页 |
| ·分析薄膜内部应力 | 第45页 |
| ·ZnO薄膜的表面形貌分析—SEM | 第45-47页 |
| ·ZnO薄膜的电学性能的分析—四探针 | 第47-49页 |
| ·ZnO薄膜的光学性能的分析—分光光度仪 | 第49-50页 |
| ·ZnO薄膜成分分析—X射线光电子能谱 | 第50-52页 |
| 第四章 溶胶凝胶法制备ZnO:(Al,La)透明导电薄膜 | 第52-59页 |
| ·实验方案 | 第52-54页 |
| ·实验方案的选取 | 第52页 |
| ·实验方案的设计 | 第52-54页 |
| ·试剂及仪器设备 | 第54-55页 |
| ·试剂 | 第54页 |
| ·仪器设备 | 第54-55页 |
| ·ZnO:(Al,La)透明导电薄膜的制备过程 | 第55-59页 |
| ·制备ZnO:(Al,La)薄膜工艺流程 | 第55-56页 |
| ·制备溶胶 | 第56页 |
| ·基片的选择 | 第56页 |
| ·基片的清洗 | 第56页 |
| ·提拉法镀膜 | 第56-57页 |
| ·薄膜的干燥 | 第57页 |
| ·薄膜的预处理 | 第57页 |
| ·薄膜在还原气氛下的退火处理 | 第57-59页 |
| 第五章 ZnO:(Al,La)薄膜的实验结果及分析 | 第59-71页 |
| ·ZnO:(Al,La)薄膜的结构分析 | 第59-61页 |
| ·Al掺杂浓度对ZnO:(Al,La)薄膜的结构的影响 | 第59-60页 |
| ·退火温度对ZnO:(Al,La)薄膜的结构的影响 | 第60-61页 |
| ·ZnO:(Al,La)薄膜的微观形貌分析 | 第61-66页 |
| ·退火温度对ZnO:(Al,La)薄膜的微观形貌的影响 | 第61-63页 |
| ·掺杂浓度对ZnO:(Al,La)薄膜微观形貌的影响 | 第63-64页 |
| ·ZnO:(Al,La)薄膜的断口图 | 第64-66页 |
| ·ZnO:(Al,La)薄膜的电学性能分析 | 第66-67页 |
| ·掺杂浓度对薄膜电学性能的影响 | 第66-67页 |
| ·退火温度对薄膜电学性能的影响 | 第67页 |
| ·还原气氛退火对ZnO:(Al,La)薄膜电阻率的影响 | 第67-69页 |
| ·Zn:(Al,La)薄膜光学性能分析 | 第69-71页 |
| ·退火温度对ZnO:(Al,La)薄膜光学性能的影响 | 第69-70页 |
| ·掺杂浓度对ZnO:(Al,La)薄膜光学性能的影响 | 第70-71页 |
| 第六章 总结 | 第71-73页 |
| ·主要结论 | 第71-72页 |
| ·创新点 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第78页 |
