| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-32页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第10-11页 |
| ·永磁材料的发展历史 | 第11-16页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金 | 第16-20页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金的制备方法 | 第16-17页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金的研究进展 | 第17-19页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金的应用 | 第19-20页 |
| ·NdFeB永磁薄膜 | 第20-30页 |
| ·NdFeB永磁薄膜的制备 | 第20-23页 |
| ·NdFeB永磁薄膜的研究进展 | 第23-29页 |
| ·NdFeB永磁薄膜的应用 | 第29-30页 |
| ·本文研究目的和主要研究内容 | 第30-32页 |
| ·本文研究目的 | 第30-31页 |
| ·本文主要研究内容 | 第31-32页 |
| 第2章 薄膜的制备及表征方法 | 第32-35页 |
| ·实验材料 | 第32页 |
| ·实验设备 | 第32-33页 |
| ·薄膜的制备 | 第33页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第33-35页 |
| ·X-射线衍射结构分析 | 第33-34页 |
| ·扫描探针显微镜观察 | 第34页 |
| ·扫描电子显微镜观察 | 第34页 |
| ·振动样品磁强仪磁性测量 | 第34页 |
| ·超导量子干涉仪磁性测量 | 第34-35页 |
| 第3章 制备工艺对NdFeB薄膜形貌及相结构的影响 | 第35-58页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·缓冲层对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第35-39页 |
| ·直接沉积在衬底上的NdFeB薄膜 | 第35-37页 |
| ·添加缓冲层的NdFeB薄膜 | 第37-39页 |
| ·靶材成分对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第39-40页 |
| ·溅射功率对NdFeB薄膜形貌及相结构的影响 | 第40-45页 |
| ·溅射功率与沉积速率的关系 | 第40-41页 |
| ·溅射功率对NdFeB薄膜表面形貌的影响 | 第41-44页 |
| ·溅射功率对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第44-45页 |
| ·溅射气压对NdFeB薄膜形貌及相结构的影响 | 第45-50页 |
| ·溅射气压与沉积速率的关系 | 第45-46页 |
| ·溅射气压对NdFeB薄膜表面形貌的影响 | 第46-48页 |
| ·溅射气压对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第48-50页 |
| ·溅射时间与薄膜形貌的关系 | 第50-53页 |
| ·溅射时间与薄膜厚度的关系 | 第50页 |
| ·溅射时间与薄膜表面形貌的关系 | 第50-53页 |
| ·退火工艺对NdFeB薄膜形貌及相结构的影响 | 第53-55页 |
| ·退火对NdFeB薄膜表面形貌的影响 | 第53页 |
| ·退火温度对NdFeB薄膜组织结构的影响 | 第53-55页 |
| ·薄膜表面粗糙化机理分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 NdFeB/Co多层膜的相结构及磁性能 | 第58-82页 |
| ·引言 | 第58-59页 |
| ·NdFeB/Co多层膜的制备 | 第59-60页 |
| ·NdFeB/Co多层膜的截面形貌 | 第60页 |
| ·[NdFeB(70nm)/Co(ynm)]×10薄膜的相结构及磁性能 | 第60-65页 |
| ·[NdFeB(70nm)/Co(ynm)]×10薄膜的相结构 | 第61-62页 |
| ·[NdFeB(70nm)/Co(ynm)]×10薄膜的磁性能 | 第62-65页 |
| ·[NdFeB(100nm)/Co(ynm)]×10薄膜的相结构及磁性能 | 第65-69页 |
| ·[NdFeB(100nm)/Co(ynm)]×10薄膜的相结构 | 第65-66页 |
| ·[NdFeB(100nm)/Co(ynm)]×10薄膜的磁性能 | 第66-69页 |
| ·[NdFeB(100nm)/Co(ynm)]×5薄膜的相结构及磁性能 | 第69-73页 |
| ·[NdFeB(100nm)/Co(ynm)]×5薄膜的相结构 | 第69-70页 |
| ·[NdFeB(100nm)/Co(ynm)]×5薄膜的磁性能 | 第70-73页 |
| ·退火工艺对多层膜相结构及磁性能影响 | 第73-77页 |
| ·退火工艺对多层膜相结构的影响 | 第73-74页 |
| ·退火工艺对多层膜的磁性能影响 | 第74-77页 |
| ·NdFeB/Co多层膜磁学性能分析 | 第77-81页 |
| ·NdFeB/Co多层膜剩磁增强机理分析 | 第77-79页 |
| ·NdFeB/Co多层膜垂直磁各向异性机理分析 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93页 |
