| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·NiZn 铁氧体薄膜制备技术及研究状况 | 第12-17页 |
| ·溅射镀膜 | 第12-13页 |
| ·喷雾热分解 | 第13-14页 |
| ·旋转喷涂 | 第14-15页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第15-16页 |
| ·超声波增强化学镀技术 | 第16页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第16-17页 |
| ·本课题研究意义与目的 | 第17-18页 |
| ·本论文的主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 NiZn 铁氧体薄膜磁性能 | 第19-29页 |
| ·NiZn 铁氧体的结构 | 第19-20页 |
| ·NiZn 铁氧体中的金属离子分布 | 第20-21页 |
| ·NiZn 铁氧体的磁性来源和超交换作用 | 第21-23页 |
| ·NiZn 铁氧体的分子饱和磁矩以及矫顽力 | 第23-25页 |
| ·NiZn 铁氧体的分子饱和磁矩 | 第23-24页 |
| ·NiZn 铁氧体的矫顽力 | 第24-25页 |
| ·影响NiZn 铁氧体薄膜磁性能的因素 | 第25-29页 |
| 第三章 薄膜性能测试方法及表征 | 第29-35页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第29-30页 |
| ·薄膜形貌的表征 | 第30-33页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第31-33页 |
| ·薄膜晶体结构分析 | 第33-34页 |
| ·薄膜磁性能的测量 | 第34-35页 |
| 第四章 溶胶-凝胶法原理及制备NiZn 铁氧体薄膜工艺 | 第35-41页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理及过程 | 第35-36页 |
| ·实验原料和仪器 | 第36-37页 |
| ·实验设备及器材 | 第36-37页 |
| ·实验原料 | 第37页 |
| ·溶胶的配置 | 第37-38页 |
| ·基片的清洗 | 第38页 |
| ·成膜 | 第38-39页 |
| ·薄膜的退火 | 第39-41页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第41-75页 |
| ·差热与热重分析 | 第41-42页 |
| ·溶胶配制对薄膜性能影响 | 第42-51页 |
| ·溶胶浓度对薄膜性能影响 | 第42-45页 |
| ·溶胶搅拌温度对薄膜性能影响 | 第45-46页 |
| ·溶胶陈化时间对薄膜性能影响 | 第46-47页 |
| ·PEG 含量对薄膜性能影响 | 第47-51页 |
| ·甩胶过程对薄膜性能影响 | 第51-56页 |
| ·甩胶工艺对薄膜质量影响 | 第51-53页 |
| ·沉积次数对薄膜性能影响 | 第53-54页 |
| ·基片种类对薄膜性能影响 | 第54-56页 |
| ·退火处理对薄膜性能影响 | 第56-66页 |
| ·退火温度对薄膜性能的影响 | 第56-60页 |
| ·保温时间对薄膜性能的影响 | 第60-63页 |
| ·升温速率对薄膜性能的影响 | 第63-64页 |
| ·淬火对薄膜性能的影响 | 第64-66页 |
| ·离子取代对薄膜性能影响 | 第66-73页 |
| ·Ti 取代对薄膜性能的影响 | 第66-70页 |
| ·Sn 取代对薄膜性能的影响 | 第70-73页 |
| ·衬底层对薄膜性能影响 | 第73-75页 |
| 第六章 结论 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第81-82页 |