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酸敏树脂的合成及其成像性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 文献综述第8-20页
   ·亲和性变化树脂概述第8页
   ·亲和性变化树脂及其在微刻领域中的应用第8-15页
   ·CTP 版材介绍第15-20页
第二章 课题的目标及材料体系的设计方案第20-23页
   ·课题设计背景第20-21页
   ·方案设计与体系成像原理第21-22页
   ·课题的研究目标第22-23页
第三章 单体与高分子的合成及其基本物性考察第23-33页
   ·实验原料及测试设备第23页
   ·单体的合成及纯化第23-25页
   ·单体的确认第25-27页
   ·二乙烯醚交联剂BPA-DEVE 的合成第27页
   ·聚合物的合成及其基本物性第27-33页
第四章 甲基丙烯酸共聚树脂第33-44页
   ·交联条件的考察第33-37页
   ·光生酸剂(PAG)的确定第37-40页
   ·甲基丙烯酸正丁酯与MAA、ST共聚树脂成像性能考察第40-42页
   ·本章小结第42-44页
第五章 (甲基)丙烯酸叔丁酯聚合物(含有酸解单元)第44-55页
   ·(甲基)丙烯酸叔丁酯聚合物的酸解性能及其热稳定性的考察第44-48页
   ·甲基丙烯酸叔丁酯共聚树脂体系成像性能研究第48-51页
   ·用红外图谱考察叔丁酯基的脱除第51-52页
   ·涂膜溶解情况与曝光时间的关系第52-53页
   ·本章小结第53-55页
第六章 BOEMA 聚合物的热稳定性及其成像性能研究第55-60页
   ·BOEMA 聚合物的稳定性考察第55-57页
   ·BOEMA 共聚树脂成像性能研究第57-58页
   ·本章小结第58-60页
第七章 结论第60-62页
参考文献第62-67页
致谢第67-68页
硕士期间发表文章第68-69页
附录 1 化学试剂及药品第69-70页
附录 2 单体及聚合物的测试图谱第70-74页

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