| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-28页 |
| ·飞秒激光技术 | 第11-17页 |
| ·飞秒激光技术发展历程 | 第11-15页 |
| ·飞秒激光特点及应用 | 第15-17页 |
| ·飞秒激光微细加工及其研究进展 | 第17-26页 |
| ·激光加工技术的发展历程 | 第17-18页 |
| ·传统激光加工技术的缺陷 | 第18-19页 |
| ·飞秒激光加工的特点及其研究进展 | 第19-26页 |
| ·论文的结构安排 | 第26-28页 |
| 2 超短脉冲激光烧蚀电介质材料机理研究 | 第28-39页 |
| ·飞秒激光与电介质材料相互作用的一般物理过程 | 第28-34页 |
| ·电离机制 | 第28-30页 |
| ·电子的热化 | 第30-31页 |
| ·电子－晶格相互作用 | 第31-32页 |
| ·材料去除机制 | 第32-34页 |
| ·超短脉冲激光烧蚀电介质材料理论模拟 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 飞秒激光微细加工实验平台 | 第39-47页 |
| ·飞秒激光系统 | 第39-41页 |
| ·微细加工光路及其对重要加工参数的影响 | 第41-45页 |
| ·三维数控精密微加工工作台与控制系统 | 第45页 |
| ·微细加工系统工作原理 | 第45-47页 |
| 4 飞秒激光微细加工无机硅材料及微型硅模具制备实验研究 | 第47-58页 |
| ·飞秒激光烧蚀无机硅材料阈值的测定 | 第47-49页 |
| ·实验材料与方法 | 第47页 |
| ·实验结果与分析 | 第47-49页 |
| ·飞秒激光烧蚀无机硅材料的形貌特征 | 第49-50页 |
| ·飞秒激光微加工硅片直接制备微型硅模具 | 第50-56页 |
| ·飞秒激光微细加工硅片的工艺研究 | 第51-56页 |
| ·飞秒激光微加工硅片直接制备微型硅模具 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 5 飞秒激光与磷酸钛氢钾（KTP）晶体相互作用的实验研究 | 第58-69页 |
| ·磷酸钛氢钾（KTP）材料的物理特性 | 第58页 |
| ·飞秒激光烧蚀KTP 晶体阈值的测定 | 第58-60页 |
| ·实验方法 | 第58-59页 |
| ·烧蚀阈值 | 第59-60页 |
| ·烧蚀区域的形貌测试结果及分析 | 第60-62页 |
| ·飞秒激光烧蚀KTP 晶体重要现象及其分析 | 第62-65页 |
| ·烧蚀“弹坑”的形状分析 | 第62-64页 |
| ·纳米周期结构 | 第64-65页 |
| ·烧蚀区域的光谱测试结果与分析 | 第65-66页 |
| ·飞秒激光在KTP 晶体内部制备波导阵列 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6 飞秒激光在偏硼酸钡（BBO）晶体中直接刻写衍射光栅及特性研究 | 第69-85页 |
| ·非共线相位匹配技术 | 第70-73页 |
| ·飞秒激光在BBO 晶体表面刻写衍射光栅的实验研究 | 第73-75页 |
| ·光栅形貌与结构检测分析 | 第75-78页 |
| ·一维衍射光栅的形貌测试结果及分析 | 第75-76页 |
| ·二维衍射光栅的形貌测试结果及分析 | 第76-77页 |
| ·圆形衍射光栅的形貌测试结果及分析 | 第77-78页 |
| ·光栅衍射特性测试结果及分析 | 第78-80页 |
| ·倍频晶体表面光栅对二次谐波产生的控制实验研究 | 第80-84页 |
| ·一维衍射光栅对二次谐波产生的控制 | 第81-82页 |
| ·二维衍射光栅对二次谐波产生的控制 | 第82-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 7 总结与展望 | 第85-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-102页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第102-104页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请专利目录 | 第104页 |
