平行梁结构电热微夹持器研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·微机电系统简介 | 第10-13页 |
| ·微机电系统发展概况 | 第10-13页 |
| ·微机电系统主要应用前景 | 第13页 |
| ·典型微夹持器的发展现状 | 第13-21页 |
| ·静电驱动微夹持器 | 第13-14页 |
| ·压电驱动微夹持器 | 第14-16页 |
| ·电磁驱动微夹持器 | 第16-17页 |
| ·形状记忆合金微夹持器 | 第17-19页 |
| ·热驱动微夹持器 | 第19-20页 |
| ·微夹持器综合比较 | 第20-21页 |
| ·选题的意义和主要研究内容 | 第21-23页 |
| ·选题的意义 | 第21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 微夹持操作力学基础 | 第23-34页 |
| ·微装配与微操作的特点 | 第23页 |
| ·表面粘附力 | 第23-27页 |
| ·静电力 | 第24-25页 |
| ·范德华力 | 第25-26页 |
| ·表面张力 | 第26-27页 |
| ·不同拾取方式下的力学特性 | 第27-32页 |
| ·静摩擦力 | 第28页 |
| ·拉伸断裂拾取方式 | 第28-29页 |
| ·弯曲断裂拾取方式 | 第29-30页 |
| ·从中间拾取自由平放微梁 | 第30-31页 |
| ·从一端拾取自由平放微梁 | 第31-32页 |
| ·释放操作 | 第32-33页 |
| ·移动 | 第32页 |
| ·释放 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 微夹持器设计与输出位移分析 | 第34-52页 |
| ·微夹持的结构设计 | 第34-38页 |
| ·驱动方式 | 第34-35页 |
| ·驱动结构 | 第35-36页 |
| ·布局形式 | 第36-37页 |
| ·材料及加工方法 | 第37-38页 |
| ·结构尺寸 | 第38页 |
| ·微夹持的传热分析 | 第38-43页 |
| ·传热理论分析 | 第38-41页 |
| ·传热有限元分析 | 第41-43页 |
| ·输出位移分析 | 第43-51页 |
| ·位移理论分析 | 第43-45页 |
| ·位移有限元分析 | 第45页 |
| ·输出位移与应力随电压的变化 | 第45-48页 |
| ·结构尺寸变化对输出位移的影响 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 微夹持器的夹持力与负载后变形分析 | 第52-70页 |
| ·夹持力与夹持臂刚度分析 | 第52-58页 |
| ·夹持力分析 | 第52页 |
| ·夹持臂刚度分析 | 第52-53页 |
| ·有限元分析方法 | 第53页 |
| ·夹持力随空行程的变化 | 第53-54页 |
| ·夹持力随电压的变化 | 第54-55页 |
| ·结构尺寸变化对夹持力与刚度的影响 | 第55-58页 |
| ·夹持臂负载时驱动臂的变形与应力分析 | 第58-69页 |
| ·有限元模型与分析方法 | 第58-59页 |
| ·驱动臂变形分析 | 第59-64页 |
| ·应力分析 | 第64-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 微夹持器的动态特性分析 | 第70-85页 |
| ·电热微夹持器的模态分析 | 第70-73页 |
| ·夹持器的频率与振型 | 第70-71页 |
| ·结构尺寸变化对频率与振型的影响 | 第71-73页 |
| ·微夹持器的瞬态动力学分析 | 第73-78页 |
| ·瞬态传热方程 | 第73-75页 |
| ·ANSYS 瞬态动力学的求解方法 | 第75-76页 |
| ·夹持器的瞬态响应分析 | 第76-78页 |
| ·微夹持器的冲击响应分析 | 第78-84页 |
| ·冲击载荷的理论模型 | 第78-79页 |
| ·微夹持器冲击响应的ANSYS 仿真分析 | 第79-81页 |
| ·不同冲击载荷下夹持器响应的分析 | 第81-83页 |
| ·不同结构尺寸夹持器的响应分析 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 结论 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 作者简介 | 第93页 |
