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共振隧穿三极管模拟及研制的研究

 中文摘要第1-4页
 ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·课题研究背景第7-8页
   ·谐振隧穿器件的国内外发展情况第8-9页
   ·谐振隧穿器件的原理第9-10页
   ·谐振隧穿器件的分类第10-12页
   ·本论文的研究内容第12-13页
第二章 RTT 器件结构设计和材料制备第13-24页
   ·分子束外延(MBE)设备第13-15页
   ·RTT 材料设计第15-18页
     ·肖特基栅型共振隧穿三极管(SGRTT)的材料设计第15-17页
     ·RTD 与HEMT 串联的RTT 材料设计第17-18页
   ·RTT 版图设计第18-21页
   ·RTT 工艺设计第21-24页
第三章 RTT 的模拟与分析第24-36页
   ·器件模拟的定义及意义第24-28页
     ·器件模拟的定义第24页
     ·器件模拟的意义第24-25页
     ·ATLAS 器件模拟软件第25-27页
     ·器件模拟要注意的问题第27-28页
   ·肖特基栅共振隧穿三极管(SGRTT)器件模拟及分析第28-34页
     ·肖特基栅共振隧穿三极管的原理第28页
     ·肖特基栅共振隧穿三极管在模拟中的材料及版图设计第28-29页
     ·肖特基栅共振隧穿三极管模拟结果第29-34页
       ·发射极长度对器件特性的影响第30-31页
       ·栅极金属到AlAs 势垒距离对器件特性的影响第31-33页
       ·靠近势垒的n-GaAs 层浓度对器件特性的影响第33-34页
   ·其他类型RTT 模拟与分析第34-36页
第四章 RTT 的测试与分析第36-46页
   ·肖特基栅型谐振隧穿三极管的直流测试第36-40页
     ·刻槽型RTT 的直流测试第36-38页
     ·自对准型RTT 的直流测试第38-39页
     ·非自对准型RTT 的直流测试第39-40页
   ·器件测试结果的分析第40-44页
     ·同一芯片正反接法造成的I-V 特性曲线差异第40-43页
     ·曲线VT值变化的分析第43-44页
   ·谐振隧穿器件的频率测量第44-46页
第五章 共振隧穿器件电路的研究第46-53页
   ·MOBILE 电路单元第46-51页
     ·MOBILE 电路单元的基本结构第46-47页
     ·MOBILE 工作原理第47-49页
     ·RTT 在MOBILE 电路中的应用第49-51页
   ·RTD 和FET 串联构成的RTT 等效实验模型第51-53页
     ·RTD 和FET 串联组成的等效实验模型(RTD 在漏端)第51-52页
     ·RTD 和FET 串联组成的等效实验模型(RTD 在源端)第52-53页
第六章 结束语第53-54页
参考文献第54-57页
发表论文和科研情况说明第57-58页
 发表的论文:第57页
  参与的科研项目:第57-58页
附录第58-66页
致谢第66页

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