| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·铁电材料概述 | 第12-19页 |
| ·铁电体的概念 | 第12-14页 |
| ·铁电体的晶体结构 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第16-18页 |
| ·铁电薄膜的研究进展 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第19-21页 |
| ·溅射法 | 第20页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第20页 |
| ·化学气相沉积法 | 第20页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第20-21页 |
| ·铁电薄膜的几种常用的物理特性 | 第21-22页 |
| ·本课题的提出及研究内容 | 第22-24页 |
| ·研究对象的选择 | 第22页 |
| ·本文的研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验方案设计及研究方法 | 第24-29页 |
| ·原料及相关的实验设备 | 第24-25页 |
| ·溶胶凝胶法制备铁电薄膜 | 第25-27页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第25页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第25-26页 |
| ·制备工艺流程图 | 第26-27页 |
| ·薄膜结构与性能的测试 | 第27-29页 |
| ·结构分析 | 第27-28页 |
| ·电性能测试 | 第28-29页 |
| 第3章 不同前驱体溶液的配制方法对钙锶铋钛铁电薄膜取向的影响 | 第29-39页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·制备环境湿度对溶液质量的影响 | 第29-33页 |
| ·XRD分析 | 第29-30页 |
| ·SEM分析 | 第30-33页 |
| ·反应温度对溶液质量的影响 | 第33-34页 |
| ·冰乙酸与乙酰丙酮两种螯合剂的对比 | 第34-37页 |
| ·XRD对比 | 第34-37页 |
| ·所制备溶液特点的对比 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 (100)择优取向的钙锶铋钛铁电薄膜的退火工艺研究及性能测试 | 第39-53页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·钙锶铋钛铁电薄膜退火工艺的优化 | 第39-44页 |
| ·热处理工艺简介 | 第39页 |
| ·粉体的差热—热重分析 | 第39-41页 |
| ·薄膜最佳退火温度的确定 | 第41-44页 |
| ·钙锶铋钛铁电薄膜电性能的测试 | 第44-51页 |
| ·不同退火温度下电滞回线的测试 | 第44-47页 |
| ·钙锶铋钛铁电薄膜的抗疲劳性能 | 第47-48页 |
| ·钙锶铋钛铁电薄膜的介电性能 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 (100)择优取向钙锶铋钛铁电薄膜生长模式的初步讨论 | 第53-62页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·逐层分析测试薄膜晶体结构变化 | 第53-58页 |
| ·XRD分析 | 第53-56页 |
| ·三维形貌分析 | 第56-58页 |
| ·不同单层膜厚度对薄膜取向所带来的影响 | 第58-61页 |
| ·XRD分析 | 第58-59页 |
| ·SEM分析 | 第59-60页 |
| ·电滞回线分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 结论 | 第62-64页 |
| ·主要结论 | 第62页 |
| ·进一步解决的问题 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 后记 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第71页 |
