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高功率半导体激光器腔面镀膜研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-13页
   ·光学薄膜的发展回顾第8-10页
     ·薄膜概述第8页
     ·光学薄膜的发展第8-10页
   ·高功率半导体激光器腔面薄膜的发展第10-12页
     ·高功率半导体激光器概述第10页
     ·高功率半导体激光器腔面镀膜概述第10-12页
   ·课题背景及论文的主要内容第12-13页
第二章:高功率半导体激光器腔面镀膜要求及膜材料的选取第13-19页
   ·薄膜设计要求第13-14页
   ·薄膜材料的选择第14-19页
     ·基片的材料第14页
     ·薄膜材料的选择第14-19页
       ·输出半反膜材料的选择第15-16页
       ·高反射膜材料的选择第16-19页
第三章:高功率半导体激光器的膜系设计第19-36页
   ·薄膜特征矩阵的推导第19-22页
   ·增透膜的原理及输出半反射膜的设计第22-27页
     ·单层增透膜原理第22-23页
     ·输出半反射膜的设计第23-27页
   ·多层高反射膜的原理及设计第27-36页
     ·周期性多层膜矩阵理论第27-29页
     ·高反射膜系统的光学损耗第29-34页
       ·反射膜系中的驻波场分布第29-30页
       ·反射膜系中的吸收损耗第30-32页
       ·反射膜系中的散射损耗第32-34页
     ·高反射膜系的设计第34-36页
第四章 薄膜的制备第36-47页
   ·薄膜的生长第36页
   ·影响薄膜生长及光学常数的一些因素第36-38页
   ·基片质量第38-39页
     ·基片材料抛光第38-39页
     ·基片的清洗第39页
   ·混合膜料的加工第39-40页
   ·电子束真空蒸发设备原理及镀制过程第40-45页
     ·常用的薄膜蒸镀的方法第40-42页
     ·电子束蒸发设备与原理第42-44页
     ·薄膜的膜厚监控第44页
     ·薄膜制备的操作过程和参数第44-45页
   ·成膜后的处理第45-47页
第五章 薄膜的测试分析及应用效果第47-58页
   ·激光损伤的研究与分析第47-48页
     ·激光损伤的机理第47页
     ·保护膜的应用第47-48页
   ·输出半反射膜的测试结果及分析第48-50页
   ·高反射膜系的测试结果及分析第50-56页
   ·在激光器上的应用结果及分析第56-58页
结束语第58-60页
参考文献第60-62页
致谢第62-63页
个人简历第63页

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