| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 序论 | 第9-18页 |
| ·铁电材料的基本概念 | 第9-12页 |
| ·铁电体的定义 | 第9-10页 |
| ·铁电体的分类 | 第10-11页 |
| ·铁电材料发展历程 | 第11-12页 |
| ·FRAM 用铁电薄膜材料研究进展 | 第12-15页 |
| ·铁电存储器(FRAM)器件工作原理 | 第12页 |
| ·FRAM 用铁电薄膜的研究进展及现状 | 第12-14页 |
| ·PZT 铁电材料的概述 | 第14-15页 |
| ·铁电薄膜极化反转的基本机理 | 第15-18页 |
| ·铁电畴的形成 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜极化反转的基本过程 | 第16-18页 |
| 第二章 PZT 铁电薄膜的制备方法和测试原理 | 第18-24页 |
| ·PZT 铁电薄膜的制备方法 | 第18-20页 |
| ·铁电薄膜的射频磁控溅射法 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜的溶胶凝胶法 | 第19-20页 |
| ·PZT 薄膜微结构的表征方法 | 第20-21页 |
| ·铁电薄膜性能的测试方法 | 第21-24页 |
| ·电滞回线的测试方法 | 第21页 |
| ·极化反转电流的测试方法 | 第21-22页 |
| ·铁电薄膜疲劳特性的测试方法 | 第22-24页 |
| 第三章 PZT 薄膜晶粒尺寸对铁电性的影响 | 第24-35页 |
| ·PZT 薄膜晶粒尺寸对铁电性影响的实验规律 | 第24-28页 |
| ·PZT 铁电薄膜极化强度对晶粒尺寸依赖性的理论分析 | 第28-32页 |
| ·PZT 铁电薄膜矫顽场对晶粒尺寸依赖性的理论分析 | 第32-35页 |
| 第四章PZT 铁电薄膜极化反转电流特性研究 | 第35-50页 |
| ·铁电薄膜极化反转动力学的基本模型 | 第35-39页 |
| ·描述铁电畴极化反转的常用模型 | 第35-36页 |
| ·极化反转电流的KAI模型的理论描述 | 第36-37页 |
| ·影响薄膜极化反转电流的重要因素 | 第37-39页 |
| ·铁电薄膜极化反转的叠加模型 | 第39-41页 |
| ·电场和温度对极化反转电流的影响 | 第41-44页 |
| ·电场强度对极化反转电流的影响 | 第41-43页 |
| ·温度对极化反转电流的影响 | 第43-44页 |
| ·PZT 铁电薄膜尺寸对极化反转电流的影响 | 第44-50页 |
| ·PZT 薄膜厚度对极化反转电流的影响 | 第45-49页 |
| ·PZT 薄膜晶粒尺寸对极化反转电流的影响 | 第49-50页 |
| 第五章 铁电薄膜结晶取向对铁电性的影响 | 第50-64页 |
| ·退火工艺对PZT 薄膜取向的控制 | 第50-54页 |
| ·常规退火工艺对PZT 薄膜取向的影响 | 第50-52页 |
| ·快速退火工艺对PZT 薄膜取向的影响 | 第52-54页 |
| ·PZT 薄膜的取向对铁电性的影响 | 第54-60页 |
| ·PZT 薄膜不同取向的微结构 | 第54-56页 |
| ·PZT 薄膜结晶取向对铁电性的影响 | 第56-58页 |
| ·PZT 薄膜结晶取向对疲劳特性的影响 | 第58-60页 |
| ·Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12) 薄膜的结晶取向对铁电性的影响 | 第60-64页 |
| 第六章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
