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Ti-O薄膜的制备及其性能研究

第1章 绪论第1-20页
   ·材料的血液相容性第12-13页
   ·氧化钛(Ti-O)抗凝血表面改性涂层第13-14页
   ·氧化钛的晶体结构和能带结构第14-17页
     ·氧化钛的晶体结构第14-16页
     ·氧化钛的能带结构第16-17页
   ·氧化钛薄膜的纳米效应和半导体性质第17-18页
   ·本文的研究目的和内容第18-20页
第2章 Ti-O薄膜的制备和表征第20-29页
   ·Ti-O薄膜的制备第20-21页
   ·薄膜的成份、结构及表面形貌的表征第21-23页
   ·薄膜的物化性质测定第23-27页
   ·薄膜的机械性能评价第27-28页
   ·薄膜的抗凝血性能评价第28-29页
第3章 各种晶体结构Ti-O薄膜的制备第29-39页
   ·基体性质对Ti-O薄膜晶体结构的影响第29-31页
   ·基底偏压对Ti-O薄膜晶体结构的影响第31-32页
   ·溅射功率对Ti-O薄膜晶体结构的影响第32-33页
   ·沉积温度对Ti-O薄膜晶体结构的影响第33-34页
   ·退火处理对Ti-O薄膜晶体结构的影响第34页
   ·氧分压对Ti-O薄膜晶体结构的影响第34-36页
   ·影响Ti-O薄膜晶体结构的主要因素第36-39页
第4章 Ti-O薄膜成分、结构、表面形貌及能级状态分析第39-72页
   ·XPS分析第39-50页
     ·XPS全谱分析第39-41页
     ·XPS芯能级谱分析第41-46页
       ·Ti-O薄膜表层芯能级谱分析第41-43页
       ·Ti-O薄膜本体芯能级谱分析第43-44页
       ·氧分压对Ti-O薄膜中氧含量的影响第44-46页
     ·XPS价带谱分析第46-50页
       ·Ti-O薄膜表层XPS价带谱分析第46-49页
       ·Ti-O薄膜本体XPS价带谱分析第49-50页
   ·RBS分析第50-52页
   ·XRD分析第52-56页
   ·FTIR分析第56-58页
   ·AFM分析第58-72页
     ·氧流量对Ti-O薄膜表面形貌的影响第58-64页
     ·基底偏压对Ti-O薄膜表面形貌的影响第64-67页
     ·退火处理对Ti-O薄膜表面形貌的影响第67-72页
第5章 Ti-O薄膜物化性质研究第72-93页
   ·Ti-O薄膜亲水性研究第73-75页
     ·基底材料性质对Ti-O薄膜亲水性影响第73-74页
     ·基底偏压对Ti-O薄膜亲水性的影响第74-75页
     ·沉积温度对Ti-O薄膜亲水性影响第75页
   ·Ti-O薄膜与血液组分间接触角研究第75-78页
     ·氧含量对Ti-O薄膜与血液组分及水接触角的影响第75-77页
     ·退火处理对Ti-O薄膜与血液组分间接触角的影响第77-78页
   ·Ti-O薄膜表面能及其与血液组分间界面张力研究第78-82页
     ·Ti-O薄膜表面能结果第79-80页
     ·氧含量对界面张力的影响第80页
     ·晶体结构对界面张力的影响第80-81页
     ·基底偏压对界面张力的影响第81-82页
   ·Ti-O半导体性质研究第82-87页
     ·方块电阻测试结果第83页
     ·电阻率计算结果第83-85页
     ·霍尔效应测试结果第85页
     ·禁带宽度测试结果第85-87页
   ·Ti-O薄膜光学性质研究第87-93页
第6章 Ti-O薄膜机械性能研究第93-102页
   ·Ti-O薄膜硬度和模量测试第93-96页
     ·热解碳基体上Ti-O薄膜硬度和模量测试第93-95页
     ·硅基体上Ti-O薄膜硬度和模量测试第95-96页
   ·膜基结合力测试第96-100页
     ·Ti-O薄膜与钛合金基体间膜基结合力测试第96-98页
     ·Ti-O薄膜与热解碳基体间膜基结合力测试第98-100页
   ·Ti-O薄膜耐磨损性能测试第100-102页
第7章 Ti-O薄膜血液相容性研究第102-114页
   ·凝血因子实验第102-103页
   ·血小板黏附实验第103-111页
     ·不同晶体结构Ti-O薄膜血小板黏附特性第103-104页
     ·氧含量对Ti-O薄膜血小板黏附特性影响第104-107页
     ·沉积温度对Ti-O薄膜血小板黏附特性影响第107-108页
     ·退火处理对Ti-O薄膜血小板黏附特性影响第108-109页
     ·基底偏压对Ti-O薄膜血小板黏附特性影响第109-111页
   ·Ti-O薄膜血液相容性机理探讨第111-114页
结论第114-117页
致谢第117-118页
参考文献第118-129页
攻读硕士学位期间发表的论文第129-131页
声明第131页

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