| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 引 言 | 第9-16页 |
| ·微全分析系统的发展简史 | 第9-11页 |
| ·微全分析系统的加工技术 | 第11-14页 |
| ·基于玻璃材料的微加工技术 | 第12-13页 |
| ·基于聚合材料的微加工技术 | 第13-14页 |
| ·本论文的研究背景及内容简介 | 第14-16页 |
| 2 基于PDMS的软光刻技术 | 第16-28页 |
| ·聚二甲基硅氧烷(PDMS)介绍 | 第16-19页 |
| ·软光刻基本原理 | 第19-22页 |
| ·自组织单层(SAMs) | 第21-22页 |
| ·接触印刷、再铸模和模压 | 第22页 |
| ·主模的快速成模 | 第22页 |
| ·软光刻关键技术 | 第22-28页 |
| ·微接触印刷(μCP) | 第22-24页 |
| ·再铸模(REM) | 第24-25页 |
| ·毛细管成模(MIMIC) | 第25页 |
| ·溶剂辅助成模(SAMIM) | 第25页 |
| ·微传递成模(μTM) | 第25-28页 |
| 3 微传递成模(μTM)技术的特点及应用 | 第28-33页 |
| ·μTM技术的特点 | 第28-29页 |
| ·μTM技术的主要应用 | 第29-33页 |
| ·用μTM加工Scottky二极管阵列 | 第29-31页 |
| ·用μTM加工波导耦合腔(waveguide coupler) | 第31-33页 |
| 4 红细胞变形性及硅微通道全分析系统 | 第33-38页 |
| ·用微通道测量红细胞变形性的理论基础 | 第33-34页 |
| ·硅微通道全分析系统设计 | 第34-38页 |
| 5 用μTM技术复制硅微通道系统 | 第38-52页 |
| ·μTM工艺准备 | 第38-43页 |
| ·实验材料 | 第38-40页 |
| ·恒温自控试验台 | 第40-42页 |
| ·EA-160/F紫外灯 | 第42-43页 |
| ·μTM加工流程 | 第43-50页 |
| ·用PDMS复制硅微通道 | 第43-44页 |
| ·温度与压力对PDMS成模的影响 | 第44-47页 |
| ·使用μTM技术在玻璃基底上构造微通道 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 6 用Coventorware软件进行结果分析 | 第52-57页 |
| ·软件介绍 | 第52页 |
| ·分析过程 | 第52-57页 |
| 7 结论与展望 | 第57-59页 |
| 致 谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附 录 | 第63-64页 |