大工件平面度检测技术研究

Abstract	第1-6页
摘要	第6-7页
第一章 绪论	第7-11页
·引言	第7-9页
·国内外发展概况	第9-10页
·本项课题的研究意义	第10-11页
第二章 平面度基本理论	第11-25页
·平面度误差的定义及测量方法	第11-18页
·平面度误差的定义	第11页
·平面度误差的测量方法	第11-18页
·测量平面度时的布点方法	第18-22页
·矩形平面的布点形式	第18-19页
·园平面的布点形式	第19-20页
·园环平面的布点形式	第20-22页
·平面度误差的评定方法	第22-25页
第三章 测试技术分析与测试系统设计	第25-43页
·多测头激光干涉误差分离法的测试技术	第25-26页
·误差分析技术的数学描述	第26-32页
·X向导轨运动误差的分离	第26-29页
·Y向导轨运动误差的分离	第29-32页
·数据处理	第32-37页
·确定各测点相对于同一坐标系的坐标值	第32-33页
·数据处理	第33-37页
·测试系统	第37-38页
·测试系统的要求及组成	第37-38页
·系统硬件	第38页
·测试系统软件设计	第38-43页
·系统软件的功能	第38-39页
·系统软件设计思想	第39-41页
·系统程序框图	第41-43页
第四章 导轨副的精度分析	第43-49页
·导轨副精度分析基本理论	第43-45页
·概述	第43页
·导轨副精度分析	第43-45页
·导轨副精度的确定	第45-49页
·概述	第45-46页
·确定X向导轨副精度(运动直线性误差)	第46-47页
·确定Y向导轨副精度(运动直线性误差)	第47-49页
第五章 实验与分析	第49-54页
·系统精度分析	第49-50页
·实验结果分析	第50-54页
第六章 结论	第54-55页
·本文结论	第54页
·应用前景	第54-55页
参考文献	第55-56页