电场与合金元素Fe、Co对钨铜间润湿性的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 前言 | 第9-18页 |
| ·CuW系复合材料的应用及制备方法 | 第9页 |
| ·CuW系复合材料的应用 | 第9页 |
| ·CuW系复合材料的制备方法 | 第9页 |
| ·熔渗法制备CuW系复合材料 | 第9页 |
| ·CuW系复合材料的界面结合强度 | 第9-10页 |
| ·润湿性 | 第10-13页 |
| ·润湿现象及润湿机理 | 第10页 |
| ·润湿性的表征 | 第10-12页 |
| ·润湿性的测定方法 | 第12页 |
| ·润湿性的影响因素 | 第12-13页 |
| ·润湿性的改善 | 第13-17页 |
| ·温度对于润湿性的影响 | 第13-14页 |
| ·合金元素对润湿性的影响 | 第14-15页 |
| ·电场对润湿性的影响 | 第15-17页 |
| ·研究目的与内容 | 第17-18页 |
| 2 材料制备及实验方法 | 第18-24页 |
| ·研究技术路线 | 第18-19页 |
| ·座滴合金与基板的制备 | 第19页 |
| ·座滴合金材料的准备 | 第19页 |
| ·基板材料的准备 | 第19页 |
| ·真空中的润湿试验 | 第19页 |
| ·气氛保护下的润湿试验 | 第19-20页 |
| ·电场下的润湿试验 | 第20页 |
| ·接触角的测量 | 第20-21页 |
| ·接触角分析系统 | 第21页 |
| ·微观分析 | 第21-22页 |
| ·主要实验仪器 | 第22页 |
| ·实验补充说明 | 第22-24页 |
| 3 合金元素对Cu/W间润湿性的影响 | 第24-37页 |
| ·实验方法 | 第24页 |
| ·试验结果及讨论 | 第24-35页 |
| ·合金元素Co对Cu/W间润湿性的影响 | 第24-31页 |
| ·Fe元素对Cu/W间润湿性的影响 | 第31-35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 4 电场对润湿性的影响 | 第37-48页 |
| ·实验方法 | 第37页 |
| ·实验结果及讨论 | 第37-46页 |
| ·电场对Cu/W润湿性的影响 | 第37-41页 |
| ·电场对Cu(Fe)/W间润湿性的影响 | 第41-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 5 温度与气氛对润湿性的影响 | 第48-56页 |
| ·温度的影响 | 第48-51页 |
| ·试验结果 | 第48-49页 |
| ·温度对于元素扩散的影响 | 第49-50页 |
| ·温度对于Cu液滴铺展阻力(粘滞力)的影响 | 第50页 |
| ·温度对于座滴表面张力的影响 | 第50页 |
| ·温度对于界面前沿先驱膜的影响 | 第50-51页 |
| ·气氛的影响 | 第51-55页 |
| ·宏观润湿性分析 | 第52-53页 |
| ·氧化分析 | 第53-54页 |
| ·先驱膜分析 | 第54页 |
| ·熔点差异分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 研究生阶段发表论文情况 | 第63页 |
