| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·铀及铀合金的腐蚀防护方法 | 第8-12页 |
| ·电镀涂层 | 第8-9页 |
| ·有机膜涂覆 | 第9-10页 |
| ·表面钝化处理 | 第10页 |
| ·离子注入 | 第10-11页 |
| ·离子镀膜 | 第11-12页 |
| ·薄膜生长的计算机模拟 | 第12-14页 |
| ·薄膜载能沉积的形核生长过程模拟 | 第12-13页 |
| ·薄膜的外延生长模拟 | 第13-14页 |
| ·小结 | 第14-16页 |
| 第二章 理论计算和实验方法 | 第16-26页 |
| ·理论计算 | 第16-22页 |
| ·分子动力学基本方程和算法 | 第16-18页 |
| ·等温系综分子动力学 | 第18-19页 |
| ·EAM原子间相互作用势 | 第19-21页 |
| ·模型近似方法 | 第21-22页 |
| ·实验 | 第22-25页 |
| ·实验设备简介 | 第22-23页 |
| ·多弧和磁控溅射镀膜原理 | 第23-24页 |
| ·薄膜性能测试方法 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第三章 Ti(0001)表面Ti原子沉积的分子动力学模拟 | 第26-36页 |
| ·物理模型 | 第26-27页 |
| ·计算结果与讨论 | 第27-35页 |
| ·表面原子溅射 | 第27-30页 |
| ·表面原子吸附 | 第30-33页 |
| ·表面空位缺陷 | 第33页 |
| ·级联体微区的温度 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 Ti/Fe(001)体系异质外延生长的分子动力学模拟 | 第36-44页 |
| ·物理模型 | 第36-37页 |
| ·计算结果与讨论 | 第37-43页 |
| ·外延岛生长的表面形貌 | 第37-38页 |
| ·外延岛的平均键长与微观失配 | 第38-39页 |
| ·外延岛与基体的应力应变状态 | 第39-42页 |
| ·外延岛与基体的结合能 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第五章 脉冲负偏压大小对Ti/TiN薄膜结构和性能的影响 | 第44-58页 |
| ·薄膜的制备 | 第44-45页 |
| ·薄膜的表面状态 | 第45-49页 |
| ·薄膜的界面状态 | 第49-51页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第51-53页 |
| ·薄膜的摩擦性能 | 第53-55页 |
| ·薄膜的电化学腐蚀性能 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及参加学术会议情况 | 第68页 |
