| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-12页 |
| ·研究的背景、目的及意义 | 第9-10页 |
| ·本论文的研究内容 | 第10-12页 |
| 第2章 热电堆传感器概述 | 第12-31页 |
| ·瞬态表面温度测量的发展现状 | 第12-14页 |
| ·红外技术及红外探测器 | 第14-19页 |
| ·红外测温原理 | 第14-17页 |
| ·红外探测器的发展 | 第17-18页 |
| ·红外探测器的分类 | 第18-19页 |
| ·热电堆传感器 | 第19-21页 |
| ·热电堆传感器的特点 | 第19-20页 |
| ·热电堆传感器的性能参数 | 第20-21页 |
| ·MEMS 热电堆传感器 | 第21-22页 |
| ·MEMS 热电堆红外传感器 | 第22-30页 |
| ·MEMS 热电堆红外传感器的结构 | 第22-24页 |
| ·MEMS 热电堆红外传感器的发展 | 第24-28页 |
| ·MEMS 热电堆红外传感器的应用 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统 | 第31-45页 |
| ·MEMS 热电堆表面高温测试系统 | 第31-36页 |
| ·系统总体框图 | 第31-33页 |
| ·系统主要组成 | 第33-36页 |
| ·A2TPM1334L5.5 OAA300 型热电堆 | 第36-38页 |
| ·热电堆静态标定 | 第38-43页 |
| ·温度传感器的静态标定装置 | 第38-40页 |
| ·静态标定实验及结果分析 | 第40-43页 |
| ·MEMS 热电堆表面高温测试系统校准 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 耐高温红外辐射陶瓷衰减片 | 第45-68页 |
| ·常用陶瓷 | 第45页 |
| ·氧化锆简介 | 第45-51页 |
| ·氧化锆陶瓷 | 第47-48页 |
| ·氧化锆陶瓷的应用和展望 | 第48-51页 |
| ·氧化锆陶瓷红外吸收系数曲线 | 第51-62页 |
| ·方法1——傅里叶变换红外光谱仪测量法 | 第51-57页 |
| ·方法2——MEMS 热电堆测量法 | 第57-61页 |
| ·陶瓷材料吸收系数的实验验证 | 第61-62页 |
| ·自制氧化锆陶瓷片 | 第62-67页 |
| ·自制与购买氧化锆陶瓷片吸收系数曲线比较 | 第62-64页 |
| ·氧化锆陶瓷片的制造 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 结论 | 第68-70页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·创新点 | 第69页 |
| ·需进一步开展的工作 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |