| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·微机电系统概述 | 第11-12页 |
| ·RF MEMS开关的研究背景 | 第12-14页 |
| ·RF MEMS的研究现状 | 第14-17页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 RF MEMS开关CPW设计 | 第19-29页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·RF MEMS开关 | 第19-21页 |
| ·并联电容式RF MEMS工作原理 | 第21-22页 |
| ·RF MEMS开关的设计要点 | 第22-23页 |
| ·影响开关射频性能的因素分析 | 第22-23页 |
| ·影响开关驱动电压的因素分析 | 第23页 |
| ·共面波导设计 | 第23-28页 |
| ·共面波导 | 第23-24页 |
| ·阻抗匹配原则 | 第24-25页 |
| ·开关损耗的影响因素 | 第25-27页 |
| ·共面波导(CPW)计算 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 RF MEMS开关机电耦合分析 | 第29-43页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·RF MEMS开关的力学模型 | 第29-30页 |
| ·RF MEMS开关的有限元分析 | 第30-33页 |
| ·两端固支梁的弹性系数 | 第33-36页 |
| ·RF MEMS开关模拟结果验证 | 第36-38页 |
| ·RF MEMS开关结构的设计 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 RF MEMS开关结构优化设计 | 第43-59页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·RF MEMS固支结构的优化 | 第43-45页 |
| ·RF MEMS开关曲折梁设计 | 第45-48页 |
| ·RF MEMS开关的开孔分析 | 第48-55页 |
| ·开孔形状对RF MEMS开关变形的影响 | 第48-51页 |
| ·开孔面积对RF MEMS开关变形的影响 | 第51-53页 |
| ·开孔布置对RF MEMS开关变形的影响 | 第53-55页 |
| ·RF MEMS开关的最终结构 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 RF MEMS开关射频性能分析与优化 | 第59-69页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·RF MEMS开关的射频性能参数 | 第59-60页 |
| ·RF MEMS开关的隔离度 | 第59页 |
| ·RF MEMS开关的插入损耗 | 第59-60页 |
| ·RF MEMS开关电磁场分析流程 | 第60-64页 |
| ·高频电磁场数值分析有限元原理 | 第60-61页 |
| ·Ansoft hfss对RF MEMS开关的仿真流程 | 第61-62页 |
| ·RF MEMS开关电磁场仿真 | 第62-64页 |
| ·RF MEMS开关射频性能优化 | 第64-67页 |
| ·介质层厚度对开关射频性能的影响 | 第64-66页 |
| ·介质层材料对开关射频性能的影响 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 结论与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第76页 |