| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-13页 |
| ·气敏传感器研究的发展 | 第11页 |
| ·SnO_2气敏薄膜研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 SnO_2薄膜的气敏机理 | 第13-21页 |
| ·SnO_2的结构与性能 | 第13页 |
| ·SnO_2薄膜的电学气敏机理 | 第13-16页 |
| ·SnO_2中的缺陷 | 第13-14页 |
| ·导电机理的理论模型 | 第14-16页 |
| ·SnO_2薄膜的光学气敏机理 | 第16-19页 |
| ·薄膜对光的吸收机理 | 第16-18页 |
| ·光反射率的变化机制 | 第18-19页 |
| ·掺杂理论 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 SnO_2薄膜的制备方法 | 第21-28页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第21-22页 |
| ·化学气相沉积法 | 第22-23页 |
| ·分子束外延法 | 第23页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第23-24页 |
| ·溅射法 | 第24-25页 |
| ·电浮镀膜法 | 第25页 |
| ·热喷涂法 | 第25页 |
| ·电沉积法 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第四章 SnO_2气敏薄膜的制备及物理性质测试 | 第28-35页 |
| ·溶胶凝胶体系的选用 | 第28页 |
| ·实验仪器 | 第28页 |
| ·薄膜制备过程 | 第28-30页 |
| ·主要试剂 | 第28-29页 |
| ·锡溶胶的配制 | 第29页 |
| ·玻璃基片清洗 | 第29页 |
| ·镀膜和热处理 | 第29-30页 |
| ·薄膜XRD测试 | 第30-33页 |
| ·不同掺杂元素的SnO_2薄膜XRD测试 | 第31-32页 |
| ·不同掺杂浓度的SnO_2薄膜XRD测试 | 第32页 |
| ·不同退火工艺的SnO_2薄膜XRD测试 | 第32-33页 |
| ·SnO_2薄膜厚度的测定 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第五章 SnO_2薄膜的气敏光学特性测试 | 第35-53页 |
| ·分光光度计原理 | 第35页 |
| ·测试方法 | 第35-36页 |
| ·乙醇气氛下的气敏光学特性测试 | 第36-42页 |
| ·铜掺杂SnO_2薄膜在乙醇气氛下的气敏光学特性测试 | 第36-41页 |
| ·钛掺杂SnO_2薄膜在乙醇气氛下的气敏光学特性测试 | 第41-42页 |
| ·丙酮气氛下的气敏光学特性测试 | 第42-45页 |
| ·铜掺杂SnO_2薄膜在丙酮气氛下的气敏光学特性测试 | 第42-44页 |
| ·钛掺杂SnO_2薄膜在丙酮气氛下的气敏光学特性测试 | 第44-45页 |
| ·甲烷气氛下的气敏光学特性测试 | 第45-48页 |
| ·铜掺杂SnO_2薄膜在甲烷气氛下的气敏光学特性测试 | 第45-47页 |
| ·钛掺杂SnO_2薄膜在甲烷气氛下的气敏光学特性测试 | 第47-48页 |
| ·甲醛气氛下的气敏光学特性测试 | 第48-51页 |
| ·铜掺杂SnO_2薄膜在甲醛气氛下的气敏光学特性测试 | 第48-49页 |
| ·钛掺杂SnO_2薄膜在甲醛气氛下的气敏光学特性测试 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第六章 SnO_2薄膜的返回特性研究 | 第53-60页 |
| ·常温下的返回特性研究 | 第53-54页 |
| ·加温下的返回特性研究 | 第54-56页 |
| ·铜掺杂SnO_2薄膜在加温下的返回特性研究 | 第54-55页 |
| ·钛掺杂SnO_2薄膜在加温下的返回特性研究 | 第55-56页 |
| ·紫外光照射下的返回特性研究 | 第56-59页 |
| ·铜掺杂SnO_2薄膜在紫外光照射下的返回特性研究 | 第56-58页 |
| ·钛掺杂SnO_2薄膜在紫外光照射下的返回特性研究 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
