预涂感光板疵病检测系统设计

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-10页
·国内外发展情况	第8-9页
·本论文研究的意义	第9页
·本课题的主要工作内容	第9-10页
第二章 PS版疵病检测原理	第10-14页
·检测及安装要求	第10页
·检测系统测量精度要求	第10页
·检测系统光源要求	第10页
·安装环境和运行要求	第10页
·检测系统设计基本原理	第10-11页
·PS版检测方案关键技术	第11-14页
·探测器选取	第11-13页
·分辨率选取依据	第13页
·探测器处理电路	第13-14页
第三章 检测系统的设计	第14-36页
·系统总体方案	第14页
·线阵CCD的选取	第14-16页
·线阵CCD的选取	第14-16页
·线阵CCD拼接方法选择	第16-22页
·光学拼接	第16-19页
·机械拼接	第19-22页
·照明方式选取	第22-24页
·光学系统的设计	第24-29页
·参数分析	第24页
·参数计算	第24-25页
·设计过程与优化结果	第25-29页
·结构设计	第29-34页
·镜筒设计	第29-30页
·CCD安装结构设计	第30-32页
·支架整体机构设计	第32-34页
·检测系统的装调	第34-35页
·控制系统	第35-36页
第四章 误差分析	第36-39页
·检测系统的装调误差分析	第36-37页
·拼接CCD的平行性误差分析	第36页
·检测系统与被测PS版倾角误差分析	第36-37页
·CCD像元误差分析	第37页
·光学系统设计畸变的误差分析	第37页
·误差合成	第37-39页
总结	第39-40页
致谢	第40-41页
参考文献	第41-42页