| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·地震勘探技术的研究背景 | 第10-11页 |
| ·地震波传播规律及传统地震检波器 | 第11-14页 |
| ·国内外地震检波技术的研究进展与发展趋势 | 第14-19页 |
| ·硅基微环谐振器的加速度地震检波器提出和研究意义 | 第19-22页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第22-24页 |
| 2 微环谐振器的基本理论 | 第24-39页 |
| ·微环谐振器 | 第24-26页 |
| ·有效折射率法 | 第26-27页 |
| ·耦合模理论 | 第27-31页 |
| ·微环谐振器损耗 | 第31-34页 |
| ·有限时域差分法 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 微环谐振器加速度检波器的工作原理及结构优化设计 | 第39-62页 |
| ·传感原理 | 第39-40页 |
| ·振动传感部分的静态特性 | 第40-45页 |
| ·弹光效应 | 第45-47页 |
| ·振动单元的动态特性 | 第47-51页 |
| ·振动单元有限元分析和优化设计 | 第51-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 4 微环谐振器加速度检波器的光波导优化设计 | 第62-82页 |
| ·单模条件 | 第62-64页 |
| ·单直波导微环谐振器的传输特性 | 第64-66页 |
| ·矩形波导的弯曲耦合 | 第66-71页 |
| ·灵敏度分析 | 第71-74页 |
| ·动态范围 | 第74-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 5 微环谐振器加速度检波器的动态范围研究 | 第82-91页 |
| ·级联谐振器的基本特性 | 第82-84页 |
| ·动态范围的改善 | 第84-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 6 微环谐振器的地震检波器的制备与工艺研究 | 第91-102页 |
| ·微环谐振器的加速度检波器的制备研究 | 第91-98页 |
| ·微环谐振器的制作结果和通光测试 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 7 总结与展望 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-114页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第114-115页 |
| 附录2 ICP刻蚀设备和制备气体 | 第115页 |