微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-32页 |
| ·MEMS机电耦合研究现状 | 第13-18页 |
| ·静电驱动与检测 | 第13-15页 |
| ·结构介绍 | 第15页 |
| ·研究现状 | 第15-18页 |
| ·微加速度计研究进展 | 第18-29页 |
| ·电容力平衡式微加速度计研究现状 | 第19-23页 |
| ·谐振式微加速度计研究现状 | 第23-28页 |
| ·研究现状总结 | 第28-29页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第29-30页 |
| ·本文的研究目标和研究内容 | 第30-32页 |
| ·研究目标 | 第30页 |
| ·研究内容 | 第30-32页 |
| 第2章 平行板电容的机电耦合宏模型 | 第32-48页 |
| ·宏模型介绍 | 第32-35页 |
| ·电容形式 | 第32-33页 |
| ·宏模型 | 第33-34页 |
| ·弹簧形式 | 第34-35页 |
| ·刚度误差分析 | 第35-41页 |
| ·单梁误差灵敏度 | 第37页 |
| ·双梁误差灵敏度 | 第37-39页 |
| ·三梁误差灵敏度 | 第39-40页 |
| ·四梁误差灵敏度 | 第40-41页 |
| ·结构选型 | 第41-44页 |
| ·工艺考虑 | 第41-42页 |
| ·结构拓展 | 第42-43页 |
| ·梁不等的影响 | 第43-44页 |
| ·仿真分析 | 第44-46页 |
| ·折叠梁总刚度仿真 | 第44-45页 |
| ·梁不等的刚度仿真 | 第45-46页 |
| ·质量块与平行板电容结构 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第3章 模型的机电耦合特性 | 第48-74页 |
| ·静电刚度效应 | 第48-56页 |
| ·静电刚度的形成 | 第48-50页 |
| ·静电刚度对频率的影响 | 第50-51页 |
| ·闭环静电刚度 | 第51-53页 |
| ·弹性耦合下的静电刚度 | 第53-56页 |
| ·"吸附"效应 | 第56-67页 |
| ·阶跃电压响应 | 第56-60页 |
| ·双弹性支撑结构的"吸附"电压 | 第60-62页 |
| ·间隙误差依赖性 | 第62-67页 |
| ·仿真分析 | 第67-72页 |
| ·仿真软件CoventorWare | 第68-69页 |
| ·静电刚度仿真 | 第69-70页 |
| ·吸附电压仿真 | 第70-72页 |
| ·本章小节 | 第72-74页 |
| 第4章 力平衡式加速度计的关键技术研究 | 第74-89页 |
| ·工作原理 | 第74-78页 |
| ·原理选择 | 第74页 |
| ·力平衡方程推导 | 第74-77页 |
| ·灵敏度大小 | 第77-78页 |
| ·闭环刚度特性 | 第78-80页 |
| ·刚度祸合关系 | 第78-79页 |
| ·刚度耦合特性 | 第79-80页 |
| ·非对称误差分析 | 第80-86页 |
| ·间隙非对称误差 | 第81-84页 |
| ·电路零偏 | 第84-86页 |
| ·非对称误差分析 | 第86页 |
| ·间隙非对称误差预测 | 第86-88页 |
| ·预测目的 | 第87页 |
| ·预测方法 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 谐振式微加速度计结构设计 | 第89-111页 |
| ·微谐振器结构形式介绍 | 第89页 |
| ·静电刚度式谐振器设计 | 第89-98页 |
| ·双端固定梁振动基础 | 第89-92页 |
| ·谐振器设计 | 第92-94页 |
| ·频率鲁棒性设计 | 第94-97页 |
| ·实例设计 | 第97-98页 |
| ·微加速度计结构设计 | 第98-110页 |
| ·原理方案设计 | 第98-102页 |
| ·输入输出关系 | 第102-107页 |
| ·性能参数设计 | 第107-109页 |
| ·传感器结构设计 | 第109-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 第6章 加速度计的制造与测试 | 第111-121页 |
| ·结构制造与测试 | 第111-113页 |
| ·工艺介绍 | 第111页 |
| ·表芯制造 | 第111-113页 |
| ·测试与讨论 | 第113-120页 |
| ·非对称误差预测 | 第113-117页 |
| ·谐振式加速度计样机测试 | 第117-120页 |
| ·本章小结 | 第120-121页 |
| 结论与展望 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-133页 |
| 攻读博士期间发表论文及科研成果 | 第133-134页 |
