| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及优缺点分析 | 第11-15页 |
| 1.2.1 钟罩式气体流量标准装置 | 第12-13页 |
| 1.2.2 PVTt法气体流量标准装置 | 第13页 |
| 1.2.3 mt法气体流量标准装置 | 第13-14页 |
| 1.2.4 标准表法气体流量标准装置 | 第14-15页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第15-16页 |
| 2 总体方案设计 | 第16-22页 |
| 2.1 设计依据 | 第17页 |
| 2.2 装置的技术指标 | 第17页 |
| 2.3 量值溯源及传递框图 | 第17-20页 |
| 2.4 临界流文丘里喷嘴的工作原理 | 第20-22页 |
| 3 硬件设计 | 第22-32页 |
| 3.1 硬件结构平台设计 | 第22-28页 |
| 3.1.1 真空气源部分 | 第22-23页 |
| 3.1.2 标准部分 | 第23-26页 |
| 3.1.3 试验管道部分 | 第26-27页 |
| 3.1.4 微机控制部分 | 第27-28页 |
| 3.2 硬件组成设计 | 第28-29页 |
| 3.2.1 数据采集和处理部分 | 第28-29页 |
| 3.2.2 控制部分设计 | 第29页 |
| 3.3 模块控制 | 第29-32页 |
| 3.3.1 AD模块 | 第29-31页 |
| 3.3.2 计数模块 | 第31页 |
| 3.3.3 IO模块 | 第31-32页 |
| 4 软件设计 | 第32-46页 |
| 4.1 软件总体设计 | 第32-33页 |
| 4.2 上位机软件工作流程 | 第33-35页 |
| 4.3 初始化程序 | 第35页 |
| 4.4 软件系统主界面 | 第35-36页 |
| 4.5 参数设置模块 | 第36-38页 |
| 4.5.1 流量计信息设置 | 第37页 |
| 4.5.2 检定方案设置 | 第37-38页 |
| 4.6 设备测试模块 | 第38-39页 |
| 4.6.1 装置泄漏率测试 | 第38-39页 |
| 4.6.2 阀门泄漏率测试 | 第39页 |
| 4.7 流量检定模块 | 第39-41页 |
| 4.8 检定报告模块 | 第41-43页 |
| 4.9 历史数据查询模块 | 第43-46页 |
| 5 检定/校准结果的重复性试验及计量标准的稳定性考核 | 第46-52页 |
| 5.1 检定/校准结果的重复性试验 | 第46-49页 |
| 5.1.1 检定或校准结果的重复性 | 第46页 |
| 5.1.2 检定或校准结果的重复性试验方法 | 第46页 |
| 5.1.3 本装置的重复性试验 | 第46-49页 |
| 5.2 计量标准的稳定性考核 | 第49-52页 |
| 5.2.1 计量标准的稳定性 | 第49页 |
| 5.2.2 稳定性的考核方法 | 第49-52页 |
| 6 测量不确定度评定 | 第52-66页 |
| 6.1 检定/校准一台涡街流量计 | 第52-59页 |
| 6.1.1 技术依据 | 第52页 |
| 6.1.2 测量对象 | 第52页 |
| 6.1.3 测量数据 | 第52-53页 |
| 6.1.4 数学模型 | 第53页 |
| 6.1.5 不确定度分析 | 第53-59页 |
| 6.2 检定/校准一台涡轮流量计 | 第59-64页 |
| 6.2.1 技术依据 | 第59页 |
| 6.2.2 测量对象 | 第59页 |
| 6.2.3 测量数据 | 第59-60页 |
| 6.2.4 数学模型 | 第60页 |
| 6.2.5 不确定度分析 | 第60-64页 |
| 6.3 检定或者校准结果的验证 | 第64-66页 |
| 7 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |