| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·硅微机械电容式麦克风的研究意义 | 第12页 |
| ·硅微机械电容式麦克风概述 | 第12-16页 |
| ·MEMS设计方法 | 第16-18页 |
| ·系统级设计 | 第16页 |
| ·器件级设计 | 第16-17页 |
| ·工艺设计 | 第17页 |
| ·版图设计 | 第17页 |
| ·MEMS的系统级模拟 | 第17-18页 |
| ·本论文的工作 | 第18-19页 |
| 第2章 麦克风设计及动态特性分析 | 第19-33页 |
| ·结构设计 | 第19-21页 |
| ·工艺流程设计 | 第21-25页 |
| ·MEMS制作技术 | 第21-22页 |
| ·麦克风工艺流程设计 | 第22-25页 |
| ·封装设计 | 第25-27页 |
| ·MEMS封装技术 | 第25-26页 |
| ·麦克风封装 | 第26-27页 |
| ·动态特性分析 | 第27-32页 |
| ·复合敏感膜力学性能分析 | 第27-28页 |
| ·开环灵敏度S_(open)的计算 | 第28-29页 |
| ·复合敏感膜工作稳定最大电压V_p的计算 | 第29-30页 |
| ·复合敏感膜振动分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 基于多目标遗传算法的麦克风优化设计 | 第33-42页 |
| ·多目标遗传算法概述 | 第33-36页 |
| ·遗传算法概述 | 第33-34页 |
| ·遗传算法的运算流程 | 第34-35页 |
| ·遗传算法的基本操作 | 第35页 |
| ·多目标优化的概念 | 第35-36页 |
| ·硅微机械电容式麦克风的优化模型 | 第36-38页 |
| ·设计变量 | 第36页 |
| ·目标函数 | 第36-37页 |
| ·约束条件 | 第37-38页 |
| ·多目标遗传算法优化 | 第38-41页 |
| ·MATLAB遗传算法工具箱 | 第38-39页 |
| ·优化计算 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 硅微机械电容式麦克风的器件级仿真分析 | 第42-53页 |
| ·灵敏度S_(open)的仿真分析 | 第42-46页 |
| ·微电子机械系统设计软件IntelliSuite概述 | 第43页 |
| ·麦克风工作电容的仿真分析 | 第43-45页 |
| ·灵敏度S_(open)的计算 | 第45-46页 |
| ·工作稳定最大电压V_p的仿真计算 | 第46-47页 |
| ·复合敏感膜振动分析 | 第47-51页 |
| ·复合敏感膜一阶振动模态 | 第47-48页 |
| ·麦克风工作时的空气压膜阻尼 | 第48-51页 |
| ·麦克风工作时的频率带宽 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 麦克风系统级模型及仿真 | 第53-61页 |
| ·等效电路Lump模型概述 | 第53页 |
| ·麦克风声学模型 | 第53-55页 |
| ·通气孔模型 | 第53-54页 |
| ·空气间隙模型 | 第54-55页 |
| ·硅基体模型 | 第55页 |
| ·麦克风机械模型 | 第55-56页 |
| ·机电换能器原理 | 第56-58页 |
| ·麦克风等效电路 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 结论与展望 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间参加的科研项目和成果 | 第74页 |