| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 前言 | 第14-18页 |
| 第二章 文献综述 | 第18-46页 |
| 2.1 引言 | 第18-20页 |
| 2.2 金属氧化物半导体纳米材料 | 第20-29页 |
| 2.2.1 金属氧化物半导体纳米材料概述 | 第20页 |
| 2.2.2 金属氧化物半导体纳米材料的基本特性 | 第20-22页 |
| 2.2.3 金属氧化物半导体纳米材料的发展概述 | 第22-29页 |
| 2.3 金属氧化物半导体纳米材料的制备方法 | 第29-36页 |
| 2.3.1 水热法 | 第29-34页 |
| 2.3.2 模板法 | 第34-36页 |
| 2.4 气敏传感器简介 | 第36-44页 |
| 2.4.1 气敏传感器发展概述 | 第36-38页 |
| 2.4.2 气敏材料 | 第38-42页 |
| 2.4.3 气敏传感器机理 | 第42-43页 |
| 2.4.4 气敏传感器原型器件结构 | 第43-44页 |
| 2.5 选题背景和研究内容 | 第44-46页 |
| 第三章 实验方法 | 第46-52页 |
| 3.1 材料及器件的制备 | 第46-48页 |
| 3.1.1 化学试剂 | 第46-47页 |
| 3.1.2 实验仪器 | 第47-48页 |
| 3.2 材料的表征 | 第48-49页 |
| 3.2.1 X射线衍射(X-ray Diffraction,XRD) | 第48页 |
| 3.2.2 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy, SEM) | 第48页 |
| 3.2.3 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy, TEM) | 第48页 |
| 3.2.4 X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) | 第48页 |
| 3.2.5 拉曼光谱(Raman Spectroscopy) | 第48页 |
| 3.2.6 热重分析(Thermogravimetric Analysis,TG) | 第48-49页 |
| 3.2.7 N_2等温吸附侧测试(BET) | 第49页 |
| 3.3 气敏传感性能测试 | 第49-52页 |
| 3.3.1 气敏传感器 | 第49-50页 |
| 3.3.2 气敏传感测试平台 | 第50页 |
| 3.3.3 静态配气 | 第50-51页 |
| 3.3.4 气敏测试操作 | 第51-52页 |
| 第四章 Co_3O_4纳米片及其气敏性能研究 | 第52-64页 |
| 4.1 引言 | 第52-53页 |
| 4.2 实验方法 | 第53-54页 |
| 4.2.1 清洗衬底 | 第53页 |
| 4.2.2 制备材料 | 第53页 |
| 4.2.4 样品表征测试 | 第53页 |
| 4.2.5 制备气敏传感器原型器件及测试 | 第53-54页 |
| 4.3 结果讨论 | 第54-62页 |
| 4.3.1 前驱体Co_4(CH_3COO)_7(OH)·2H_2O纳米片 | 第54页 |
| 4.3.2 选择热处理温度 | 第54-55页 |
| 4.3.3 多孔Co_3O_4纳米片 | 第55-57页 |
| 4.3.4 生长机理 | 第57-58页 |
| 4.3.5 气敏传感性能 | 第58-61页 |
| 4.3.6 气敏机理 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 Co_3O_4交叉纳米片阵列及其气敏性能研究 | 第64-75页 |
| 5.1 引言 | 第64-65页 |
| 5.2 实验部分 | 第65页 |
| 5.2.1 清洗衬底 | 第65页 |
| 5.2.2 制备材料 | 第65页 |
| 5.2.3 样品表征测试 | 第65页 |
| 5.2.4 制备气敏传感器原型器件及气敏测试 | 第65页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第65-73页 |
| 5.3.1 前驱体((Co(NH_3)_6)CoF_6·H_2O)纳米片阵列 | 第65-66页 |
| 5.3.2 热处理温度选择 | 第66-67页 |
| 5.3.3 Co_3O_4交叉纳米片阵列 | 第67-69页 |
| 5.3.4 生长机理 | 第69-70页 |
| 5.3.5 气敏传感性能 | 第70-72页 |
| 5.3.6 气敏机理 | 第72-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-75页 |
| 第六章 Co_3O_4/Ta_2O_5异质结空心球及其室温气敏性能研究 | 第75-86页 |
| 6.1 引言 | 第75-77页 |
| 6.2 实验部分 | 第77页 |
| 6.2.1 清洗衬底 | 第77页 |
| 6.2.2 制备材料 | 第77页 |
| 6.2.3 表征测试方法 | 第77页 |
| 6.2.4 制备气敏传感器原型器件及气敏测试 | 第77页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第77-85页 |
| 6.3.1 Co_3O_4/Ta_2O_5异质结空心球的制备原理 | 第77-78页 |
| 6.3.2 选择热处理温度 | 第78-79页 |
| 6.3.3 Co_3O_4/Ta_2O_5异质结空心球 | 第79-82页 |
| 6.3.4 气敏传感性能 | 第82-85页 |
| 6.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 第七章 Fe掺杂WO_3空心纳米球及其气敏性能研究 | 第86-96页 |
| 7.1 引言 | 第86-87页 |
| 7.2 实验部分 | 第87页 |
| 7.2.1 清洗衬底 | 第87页 |
| 7.2.2 制备材料 | 第87页 |
| 7.2.3 样品表征 | 第87页 |
| 7.2.4 制备气敏传感器原型器件及气敏测试 | 第87页 |
| 7.3 结果与讨论 | 第87-95页 |
| 7.3.1 Fe掺杂WO_3纳米空心球 | 第87-92页 |
| 7.3.2 气敏传感性能 | 第92-94页 |
| 7.3.3 气敏机理 | 第94-95页 |
| 7.4 本章小结 | 第95-96页 |
| 第八章 结论与展望 | 第96-99页 |
| 8.1 全文总结 | 第96-97页 |
| 8.2 本文主要创新点 | 第97页 |
| 8.3 未来工作展望 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-110页 |
| 致谢 | 第110-114页 |
| 个人简历 | 第114-116页 |
| 攻读博士学位期间主要研究成果 | 第116-118页 |
