| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第9页 |
| 1.2 MEMS高g值微加速度计研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 微器件可靠性的研究状况 | 第12-13页 |
| 1.3.1 国外可靠性发展现状 | 第12页 |
| 1.3.2 国内可靠性发展现状 | 第12-13页 |
| 1.4 器件的典型失效模式和机理 | 第13-14页 |
| 1.4.1 MEMS失效分析方法 | 第13页 |
| 1.4.2 MEMS器件典型失效模式与失效机理 | 第13-14页 |
| 1.5 论文研究内容及结果 | 第14-17页 |
| 1.5.1 论文的研究思路及主要内容 | 第14-15页 |
| 1.5.2 论文结构安排 | 第15-17页 |
| 2 多种单应力环境下MEMS高g值微加速度计的故障模式及机理研究 | 第17-36页 |
| 2.1 高温环境下MEMS高g值微加速度计的失效分析 | 第17-20页 |
| 2.1.1 高温对压敏电阻的影响 | 第17-19页 |
| 2.1.2 高温环境下的疲劳失效 | 第19-20页 |
| 2.2 振动环境下MEMS高g值微加速度计的失效分析 | 第20-24页 |
| 2.2.1 高g值微加速度计在振动下的结构响应分析 | 第21页 |
| 2.2.2 振动环境下的数学模型 | 第21-22页 |
| 2.2.3 外壳体的层裂 | 第22-24页 |
| 2.3 冲击环境下MEMS高g值微加速度计的失效分析 | 第24-34页 |
| 2.3.1 高g值微加速度计在冲击下的结构响应分析 | 第24-28页 |
| 2.3.2 冲击下微加速度计断裂失效分析 | 第28-33页 |
| 2.3.3 引线键合的失效 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 3 多种单应力环境下MEMS高g值微加速度计的仿真分析 | 第36-50页 |
| 3.1 高温下高g值微加速度计仿真与分析 | 第36-44页 |
| 3.1.1 热应力的理论分析 | 第36页 |
| 3.1.2 热应力仿真分析 | 第36-42页 |
| 3.1.3 高温步进仿真 | 第42-44页 |
| 3.2 振动下高g值微加速度计仿真与分析 | 第44-46页 |
| 3.2.1 振动的理论分析 | 第44页 |
| 3.2.2 微加速度计振动仿真 | 第44-46页 |
| 3.3 冲击下高g值微加速度计仿真与分析 | 第46-49页 |
| 3.3.1 悬臂梁的冲击仿真 | 第46-47页 |
| 3.3.2 微加速度计冲击仿真 | 第47-48页 |
| 3.3.3 封装后微加速度计的冲击仿真 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 多种单应力强化作用下的可靠性试验及评估 | 第50-71页 |
| 4.1 高温步进应力试验技术 | 第50页 |
| 4.2 高温步进试验剖面以及方案设计 | 第50-52页 |
| 4.2.1 步进应力试验剖面设计原则 | 第50-51页 |
| 4.2.2 应力的施加方式 | 第51-52页 |
| 4.3 高温试验 | 第52-59页 |
| 4.3.1 高温应力场应力剖面设计 | 第52-53页 |
| 4.3.2 试验过程及结果分析 | 第53-55页 |
| 4.3.3 高g值微加速度计在温度环境下的可靠性评估 | 第55-59页 |
| 4.4 振动试验 | 第59-64页 |
| 4.4.1 强化试验剖面设计 | 第59页 |
| 4.4.2 试验过程及结果分析 | 第59-61页 |
| 4.4.3 高g值微加速度计在振动环境下的可靠性评估 | 第61-64页 |
| 4.5 冲击试验 | 第64-70页 |
| 4.5.1 强化试验剖面设计 | 第64页 |
| 4.5.2 试验失效判据 | 第64-65页 |
| 4.5.3 试验过程及结果分析 | 第65-68页 |
| 4.5.4 高g值微加速度计在冲击环境下的可靠性评估 | 第68-70页 |
| 4.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 5 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
