飞秒激光时空同步聚焦特性及其微纳加工应用研究
摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-33页 |
1.1 飞秒激光及其加工技术简介 | 第10-17页 |
1.1.1 飞秒激光简介 | 第10-12页 |
1.1.2 飞秒激光与物质相互作用 | 第12-14页 |
1.1.3 飞秒激光加工优势 | 第14-17页 |
1.2 时空同步聚焦技术 | 第17-25页 |
1.2.1 时空同步聚焦技术简述 | 第18-19页 |
1.2.2 时空同步聚焦系统 | 第19-21页 |
1.2.3 时空同步聚焦优势 | 第21-25页 |
1.3 飞秒激光时空同步聚焦加工研究现状 | 第25-31页 |
1.3.1 时空同步聚焦的时间聚焦特性研究 | 第25-29页 |
1.3.2 时空同步聚焦的频谱控制特性研究 | 第29-31页 |
1.4 论文研究内容及创新之处 | 第31-33页 |
1.4.1 论文组织结构 | 第31-32页 |
1.4.2 主要创新点 | 第32-33页 |
第2章 光场整形与聚焦理论分析 | 第33-46页 |
2.1 通用宽频激光聚焦算法 | 第33-39页 |
2.1.1 入射光场 | 第34-36页 |
2.1.2 光学元件 | 第36-38页 |
2.1.3 光场聚焦 | 第38-39页 |
2.2 空间聚焦理论分析 | 第39-46页 |
2.2.1 高斯光束的聚焦分析 | 第40-41页 |
2.2.2 振幅整形光束聚焦分析 | 第41-42页 |
2.2.3 相位整形光束聚焦分析 | 第42-44页 |
2.2.4 偏振整形光束聚焦分析 | 第44-46页 |
第3章 时空同步聚焦特性理论分析 | 第46-60页 |
3.1 时空同步聚焦光斑静态特性分析 | 第46-48页 |
3.2 频谱分布对聚焦光斑动态演化的影响 | 第48-56页 |
3.2.1 线性频谱分布 | 第48-51页 |
3.2.2 径向频谱分布 | 第51-54页 |
3.2.3 旋向光谱分布 | 第54-56页 |
3.3 时空同步聚焦光斑动态控制应用拓展 | 第56-60页 |
3.3.1 同步聚焦与相位整形结合 | 第56-57页 |
3.3.2 同步聚焦与振幅整形结合 | 第57-58页 |
3.3.3 同步聚焦与多点聚焦结合 | 第58-60页 |
第4章 时空同步聚焦加工实验分析 | 第60-74页 |
4.1 飞秒激光时空同步聚焦加工系统 | 第61-67页 |
4.2 时间聚焦对加工的影响 | 第67-69页 |
4.2.1 时空同步聚焦光斑截面形状观测 | 第67-68页 |
4.2.2 时空同步聚焦微通道加工实验 | 第68-69页 |
4.3 聚焦点的快速平移现象对加工结果的影响 | 第69-74页 |
4.3.1 快速平移对加工的区域的影响 | 第70-72页 |
4.3.2 快速平移对加工微结构的影响 | 第72-74页 |
第5章 总结与展望 | 第74-76页 |
参考文献 | 第76-82页 |
攻读硕士期间的学术成果 | 第82-83页 |
致谢 | 第83页 |