| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 太阳能电池简介 | 第12-14页 |
| 1.1.1 太阳能电池的研究背景 | 第12-13页 |
| 1.1.2 太阳能电池的主要分类 | 第13-14页 |
| 1.2 Cu_2SnS_3和Cu_2ZnSnS_4薄膜太阳能电池介绍 | 第14-16页 |
| 1.2.1 Cu_2SnS_3和Cu_2ZnSnS_4吸收层薄膜特性介绍 | 第14-16页 |
| 1.2.2 Cu_2SnS_3/Cu2ZnSnS_4薄膜太阳能电池的典型结构 | 第16页 |
| 1.3 Cu_2SnS_3和Cu2ZnSnS_4薄膜吸收层材料制备的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3.1 Cu_2SnS_3薄膜的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 Cu_2ZnSnS_4薄膜的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的研究目的与意义 | 第18-20页 |
| 第二章 实验方法及表征分析 | 第20-31页 |
| 2.1 实验设计 | 第20-23页 |
| 2.1.1 由Cu/Sn叠层金属前驱体制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第20-21页 |
| 2.1.2 由Cu-Sn合金前驱体制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第21-22页 |
| 2.1.3 由Cu金属单质层前驱体制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第22页 |
| 2.1.4 由Cu-Zn-Sn前驱体制备Cu_2ZnSnS_4薄膜 | 第22-23页 |
| 2.2 实验方法 | 第23-27页 |
| 2.2.1 清洗基片及玻璃管 | 第23页 |
| 2.2.2 溅射法制备薄膜 | 第23-25页 |
| 2.2.3 电沉积法制备薄膜 | 第25页 |
| 2.2.4 封管退火技术 | 第25-27页 |
| 2.3 表征分析方法 | 第27-31页 |
| 2.3.1 成分分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 物相分析 | 第28-29页 |
| 2.3.2.1 X射线衍射 | 第28页 |
| 2.3.2.2 拉曼光谱 | 第28-29页 |
| 2.3.3 形貌分析 | 第29页 |
| 2.3.4 光学性能分析 | 第29-31页 |
| 第三章 溅射Cu/Sn叠层前驱体制备Cu_2SnS_3薄膜及表征 | 第31-49页 |
| 3.1 Cu、Sn层溅射速率标定 | 第31-33页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第31-32页 |
| 3.1.1.1 清洗基片 | 第31页 |
| 3.1.1.2 溅射薄膜 | 第31-32页 |
| 3.1.2 表征结果及讨论 | 第32-33页 |
| 3.1.3 实验结论 | 第33页 |
| 3.2 溅射Cu/Sn叠层前驱体两步硫化退火制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第33-48页 |
| 3.2.1 样品制备 | 第33-35页 |
| 3.2.1.1 清洗基片及玻璃管 | 第34页 |
| 3.2.1.2 溅射Cu/Sn叠层前驱体 | 第34页 |
| 3.2.1.3 两步硫化退火 | 第34-35页 |
| 3.2.2 表征结果及讨论 | 第35-47页 |
| 3.2.2.1 成分分析 | 第35-38页 |
| 3.2.2.2 物相分析 | 第38-42页 |
| 3.2.2.3 形貌分析 | 第42-46页 |
| 3.2.2.4 光学性能分析 | 第46-47页 |
| 3.2.3 实验结论 | 第47-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 溅射Cu-Sn合金前驱体制备Cu_2SnS_3薄膜及表征 | 第49-83页 |
| 4.1 溅射功率/时间-膜厚关系标定 | 第49-53页 |
| 4.1.1 样品制备 | 第49-51页 |
| 4.1.1.1 清洗基片 | 第49页 |
| 4.1.1.2 溅射Cu-Sn合金前驱体 | 第49-50页 |
| 4.1.1.3 溅射Mo电极层 | 第50-51页 |
| 4.1.2 表征结果及讨论 | 第51-53页 |
| 4.1.2.1 Cu-Sn合金前驱体溅射功率与膜厚关系 | 第51-52页 |
| 4.1.2.2 Mo电极层溅射速率 | 第52-53页 |
| 4.1.2.3 实验结论 | 第53页 |
| 4.2 溅射Cu-Sn合金前驱体一步硫化退火制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第53-63页 |
| 4.2.1 样品制备 | 第53-54页 |
| 4.2.1.1 清洗基片及玻璃管 | 第54页 |
| 4.2.1.2 溅射Cu-Sn合金前驱体 | 第54页 |
| 4.2.1.3 一步硫化退火 | 第54页 |
| 4.2.2 表征结果及讨论 | 第54-62页 |
| 4.2.2.1 成分分析 | 第55页 |
| 4.2.2.2 物相分析 | 第55-58页 |
| 4.2.2.3 形貌分析 | 第58-61页 |
| 4.2.2.4 光学性能分析 | 第61-62页 |
| 4.2.3 实验结论 | 第62-63页 |
| 4.3 溅射Cu-Sn合金前驱体两步硫化退火制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第63-70页 |
| 4.3.1 样品制备 | 第63-64页 |
| 4.3.1.1 清洗基片及玻璃管 | 第63页 |
| 4.3.1.2 溅射Cu-Sn合金前驱体 | 第63-64页 |
| 4.3.1.3 两步硫化退火 | 第64页 |
| 4.3.2 表征结果及讨论 | 第64-69页 |
| 4.3.2.1 成分分析 | 第65页 |
| 4.3.2.2 物相分析 | 第65-67页 |
| 4.3.2.3 形貌分析 | 第67-68页 |
| 4.3.2.4 光学性能分析 | 第68-69页 |
| 4.3.3 实验结论 | 第69-70页 |
| 4.4 溅射Cu-Sn合金前驱体两步硫/硒化退火制备Cu_2Sn(S,Se)_3薄膜 | 第70-79页 |
| 4.4.1 样品制备 | 第70-72页 |
| 4.4.1.1 清洗基片及玻璃管 | 第71页 |
| 4.4.1.2 溅射Cu-Sn合金前驱体 | 第71页 |
| 4.4.1.3 两步硫/硒化退火 | 第71-72页 |
| 4.4.2 表征结果及讨论 | 第72-79页 |
| 4.4.2.1 成分分析 | 第72-73页 |
| 4.4.2.2 物相分析 | 第73-74页 |
| 4.4.2.3 形貌分析 | 第74-77页 |
| 4.4.2.4 光学性能分析 | 第77-79页 |
| 4.4.3 实验结论 | 第79页 |
| 4.5 在Mo层上溅射Cu-Sn合金前驱体一步硫化退火制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第79-82页 |
| 4.5.1 样品制备 | 第79-80页 |
| 4.5.1.1 清洗基片及玻璃管 | 第79页 |
| 4.5.1.2 溅射Mo电极层 | 第79-80页 |
| 4.5.1.3 溅射Cu-Sn合金前驱体 | 第80页 |
| 4.5.1.4 一步硫化退火 | 第80页 |
| 4.5.2 表征结果及讨论 | 第80-81页 |
| 4.5.2.1 物相表征 | 第80-81页 |
| 4.5.3 实验结论 | 第81-82页 |
| 4.6 本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 溅射Cu单质层前驱体制备Cu_2SnS_3薄膜及表征 | 第83-93页 |
| 5.1 溅射Cu单质层一步锡/硫化退火制备Cu_2SnS_3薄膜 | 第83-92页 |
| 5.1.1 样品制备 | 第83-85页 |
| 5.1.1.1 清洗基片及玻璃管 | 第84页 |
| 5.1.1.2 制备Cu单质前驱体 | 第84-85页 |
| 5.1.1.3 一步锡/硫化退火 | 第85页 |
| 5.1.2 表征结果及讨论 | 第85-91页 |
| 5.1.2.1 成分分析 | 第85-87页 |
| 5.1.2.2 物相分析 | 第87-89页 |
| 5.1.2.3 形貌分析 | 第89-91页 |
| 5.1.3 实验结论 | 第91-92页 |
| 5.2 本章小结 | 第92-93页 |
| 第六章 共沉积Cu-Sn-Zn前驱体制备Cu_2ZnSnS_4薄膜及表征 | 第93-99页 |
| 6.1 共沉积Cu-Zn-Sn前驱体一步硫化退火制备Cu_2ZnSnS_4薄膜 | 第93-98页 |
| 6.1.1 样品制备 | 第93-95页 |
| 6.1.1.1 清洗基片 | 第93页 |
| 6.1.1.2 电沉积Cu-Zn-Sn金属前驱体 | 第93-95页 |
| 6.1.1.3 一步硫化退火 | 第95页 |
| 6.1.2 表征结果及讨论 | 第95-98页 |
| 6.1.2.1 成分分析 | 第95-96页 |
| 6.1.2.2 物相分析 | 第96-97页 |
| 6.1.2.3 形貌分析 | 第97-98页 |
| 6.1.3 实验结论 | 第98页 |
| 6.2 本章小结 | 第98-99页 |
| 第七章 结论 | 第99-102页 |
| 7.1 实验结论 | 第99-100页 |
| 7.1.1 研究内容总结 | 第99页 |
| 7.1.2 实验结论总结 | 第99-100页 |
| 7.2 特色创新点 | 第100页 |
| 7.3 研究中的问题及未来展望 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-107页 |
| 硕士在读期间取得的研究成果 | 第107-108页 |
