| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 微型振动能量收集技术的国内外研究现状 | 第9-20页 |
| 1.2.1 微型压电振动能量收集技术 | 第10-13页 |
| 1.2.2 微型电磁振动能量收集技术 | 第13-17页 |
| 1.2.3 基于压电-电磁机理的微型复合振动能量收集技术 | 第17-20页 |
| 1.3 研究目标和研究内容 | 第20-22页 |
| 2 基于压电-电磁机理的微型复合振动能量收集器的结构与理论分析 | 第22-31页 |
| 2.1 微型复合振动能量收集器的结构与工作原理 | 第22-24页 |
| 2.2 压电转换部分的理论分析 | 第24-27页 |
| 2.3 电磁转换部分的理论分析 | 第27-29页 |
| 2.4 微型复合振动能量收集器输出功率的理论分析 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 微型复合振动能量收集器结构的优化设计 | 第31-41页 |
| 3.1 压电转换部分的优化 | 第31-36页 |
| 3.1.1 MEMS压电悬臂梁阵列梁长的优化 | 第32-34页 |
| 3.1.2 MEMS压电悬臂梁阵列梁厚的优化 | 第34-36页 |
| 3.2 电磁转换部分的优化 | 第36-39页 |
| 3.2.1 永磁体厚度的优化 | 第36-37页 |
| 3.2.2 感应线圈内外圈尺寸、线宽和线间距、线厚度的优化 | 第37-39页 |
| 3.2.3 线圈与永磁体的静态间距优化 | 第39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 基于压电-电磁机理的微型复合振动能量收集器加工技术 | 第41-51页 |
| 4.1 MEMS压电悬臂梁阵列加工技术 | 第41-46页 |
| 4.1.1 PZT薄膜制备 | 第41-43页 |
| 4.1.2 基于MEMS技术的压电悬臂梁阵列的加工工艺流程 | 第43-46页 |
| 4.2 感应线圈的制备 | 第46-47页 |
| 4.3 封装管壳设计与微型复合能量收集器的组装 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 微型复合振动能量器的性能测试与分析 | 第51-58页 |
| 5.1 微型复合振动能量收集器测试方法 | 第51-52页 |
| 5.2 微型振动能量收集器测试平台的搭建 | 第52-53页 |
| 5.3 微型复合振动能量收集器样机输出性能测试 | 第53-56页 |
| 5.3.1 单一压电转换部分的输出性能测试 | 第53-54页 |
| 5.3.2 单一电磁转换部分的输出性能测试 | 第54-55页 |
| 5.3.3 微型复合振动能量收集样机输出性能测试 | 第55-56页 |
| 5.4 微型复合振动能量收集器样机输出性能分析 | 第56-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第58-59页 |
| 6.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
