多自由度相位调制器测试技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第14页 |
| 1.2 光学精密测量的发展及研究现状 | 第14-24页 |
| 1.2.1 相干光学与精密测量 | 第15页 |
| 1.2.2 激光干涉测量研究现状 | 第15-20页 |
| 1.2.3 多自由度测量技术研究进展 | 第20-24页 |
| 1.3 研究内容与论文构架 | 第24-26页 |
| 第2章 多传感器测量方法研究 | 第26-44页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 基于平面法线向量法测量原理 | 第26-30页 |
| 2.2.1 角度测量 | 第26-29页 |
| 2.2.2 轴向位移测量 | 第29-30页 |
| 2.3 仿真分析 | 第30-37页 |
| 2.3.1 传感器数量确定 | 第30-33页 |
| 2.3.2 仿真分析 | 第33-37页 |
| 2.4 测量误差分析 | 第37-42页 |
| 2.4.1 测量探头的位置偏差 | 第37-39页 |
| 2.4.2 多探头间平行度误差 | 第39-41页 |
| 2.4.3 其他误差源 | 第41-42页 |
| 2.5 方法应用 | 第42-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 多自由度干涉测量方法研究 | 第44-62页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 系统原理 | 第44-49页 |
| 3.2.1 激光干涉原理 | 第44-47页 |
| 3.2.2 外差干涉原理 | 第47-49页 |
| 3.3 测量系统设计 | 第49-56页 |
| 3.3.1 位移测量 | 第50-54页 |
| 3.3.2 角度测量 | 第54-56页 |
| 3.4 仿真分析 | 第56-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第4章 多传感测量方法实现 | 第62-86页 |
| 4.1 实验准备 | 第62页 |
| 4.2 器材仪器标定 | 第62-73页 |
| 4.2.1 平行度标定 | 第64-65页 |
| 4.2.2 传感器安装位置标定 | 第65-70页 |
| 4.2.3 角度标定 | 第70-73页 |
| 4.3 实验数据采集与分析 | 第73-84页 |
| 4.4 本章小结 | 第84-86页 |
| 第5章 工作总结与展望 | 第86-88页 |
| 5.1 本课题工作总结 | 第86-87页 |
| 5.2 本课题创新点 | 第87页 |
| 5.3 本课题工作展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第93页 |
