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TFT-LCD制造中的阵列缺陷分析和修复

摘要第1-4页
Abstract第4-6页
第一章 绪论第6-10页
   ·TFT-LCD的发展第6页
   ·TFT-LCD的制造特点第6-7页
   ·TFT-LCD的缺陷第7-10页
第二章 TFT-LCD的显示与制造第10-18页
   ·TFT-LCD的显示和结构第10-11页
   ·TFT-LCD的驱动第11-13页
   ·TFT-LCD的材料第13-15页
   ·TFT-LCD的制作工艺第15-18页
第三章 TFT-LCD缺陷分析和修复初步研究第18-30页
   ·缺陷的分类第18页
   ·缺陷的主要类别第18-22页
   ·缺陷的检测第22-25页
   ·缺陷的修复第25-28页
   ·激光参数的初步选择第28-30页
第四章 缺陷分析和修复详细研究第30-52页
   ·点缺陷的分析和修复第30-40页
     ·Cutting的修复研究第30-33页
     ·Gate-ITO welding的修复研究第33-35页
     ·S/D-ITO welding的修复研究第35-40页
     ·Gate-S/D welding的修复研究第40页
   ·线缺陷的分析和修复第40-52页
     ·DO的检测和修复第41-42页
     ·DGS的成盒检测和修复第42-48页
     ·GO的检测和修复第48-52页
第五章 结束语第52-54页
致谢第54-56页
参考文献第56-58页
研究成果第58-60页
附录A第60页

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