双晶片作驱动源的压电式精密驱动器的设计与研究
| 提要 | 第2-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-17页 |
| 1.1 引 言 | 第6页 |
| 1.2 ?精密驱动技术主要运用领域 | 第6-9页 |
| 1.2.1 MEMS和超精密加工 | 第6-7页 |
| 1.2.2 生物工程 | 第7页 |
| 1.2.3 医疗科学 | 第7页 |
| 1.2.4 集成电路制造 | 第7-8页 |
| 1.2.5 光纤对接 | 第8页 |
| 1.2.6 微型零件的操作和装配 | 第8页 |
| 1.2.7 精密驱动工作台 | 第8-9页 |
| 1.3 精密驱动机构的分类及比较 | 第9-11页 |
| 1.4 压电型精密驱动实现方式 | 第11-16页 |
| 1.4.1 直动驱动式 | 第11-13页 |
| 1.4.2 步进式(蠕动式)驱动器 | 第13-14页 |
| 1.4.3 惯性冲击式驱动器(IDM) | 第14-16页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 压电驱动基础理论 | 第17-33页 |
| 2.1 压电陶瓷概述 | 第17-23页 |
| 2.1.1 压电效应与逆压电效应 | 第17-18页 |
| 2.1.2 压电陶瓷及压电性能 | 第18-21页 |
| 2.1.3 压电方程 | 第21页 |
| 2.1.4 压电振子等效电路及谐振特性 | 第21-23页 |
| 2.2 压电驱动技术 | 第23-32页 |
| 2.2.1 压电驱动器与分类 | 第23-24页 |
| 2.2.2 压电驱动研究内容 | 第24-25页 |
| 2.2.3 常用压电驱动器 | 第25-31页 |
| 2.2.4 压电驱动的特点 | 第31-32页 |
| 2.3 小结 | 第32-33页 |
| 第三章 精密压电驱动机构运动原理及理论分析 | 第33-49页 |
| 3.1 柔性铰链的理论及分析 | 第33-41页 |
| 3.1.1 圆弧摆动柔性铰链 | 第35-38页 |
| 3.1.1.1 圆弧摆动柔性铰链理论建模 | 第35-37页 |
| 3.1.1.2 圆弧摆动柔性铰链有限元分析 | 第37-38页 |
| 3.1.2 平行板移动副式柔性铰链 | 第38-41页 |
| 3.1.2.1 平行板移动副式柔性铰链结构简图 | 第39页 |
| 3.1.2.2 平行板移动副式柔性铰链有限元分析 | 第39-41页 |
| 3.2 几种机构的结构及运动原理 | 第41-48页 |
| 3.2.1 单自由度平动驱动器 | 第41-43页 |
| 3.2.2 x-y两自由度平动驱动器 | 第43-45页 |
| 3.2.3 x-y两自由度摆动驱动器 | 第45-47页 |
| 3.2.4 压电双晶片输出力的间接计算 | 第47-48页 |
| 3.3 小结 | 第48-49页 |
| 第四章 精密驱动器的实验研究 | 第49-78页 |
| 4.1 实验装置 | 第49-50页 |
| 4.2 压电双晶片基本特性测试 | 第50-54页 |
| 4.2.1 压电双晶片尺寸选择 | 第50-54页 |
| 4.2.2 压电双晶片打孔前后的性能比较 | 第54页 |
| 4.3 驱动机构特性测试 | 第54-75页 |
| 4.3.1 单自由度平动机构 | 第55-58页 |
| 4.3.2 x-y两自由度平动机构 | 第58-70页 |
| 4.3.2.1 不同方向电压对滞环的影响 | 第58-65页 |
| 4.3.2.2 相同方向不同电压对滞环的影响 | 第65-68页 |
| 4.3.2.3 机构的蠕变效应 | 第68-69页 |
| 4.3.2.4 机构的重复定位精度 | 第69-70页 |
| 4.3.3 x-y两自由度摆动机构 | 第70-75页 |
| 4.3.3.1 加双向电压对机构滞环的影响 | 第70-74页 |
| 4.3.3.2 机构的蠕变效应 | 第74页 |
| 4.3.3.3 机构的重复定位精度 | 第74-75页 |
| 4.4 压电双晶片的制作 | 第75-76页 |
| 4.5 机构的控制及检测 | 第76-77页 |
| 4.6 小结 | 第77-78页 |
| 第五章 结论与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 论文总结 | 第78页 |
| 5.2 研究展望 | 第78-80页 |
| 致 谢 | 第80-81页 |
| 参 考 文 献 | 第81-85页 |
| 摘 要 | 第85-89页 |
| ABSTRACT | 第89页 |
