低气压微型ICP激发源激发检测气体样品特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 研究意义 | 第10-11页 |
| 1.3 研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第13-15页 |
| 第2章 微型 ICP 激发源理论模型及仿真研究 | 第15-23页 |
| 2.1 微型 ICP 谐振基础 | 第15-16页 |
| 2.2 理论模型的建立及仿真 | 第16-20页 |
| 2.3 均匀放电模型 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 低压微型 ICP 激发样品试验 | 第23-26页 |
| 3.1 实验装置 | 第23-24页 |
| 3.2 实验步骤 | 第24-25页 |
| 3.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 激发检测气体样品特性研究 | 第26-49页 |
| 4.1 实验条件测试 | 第26-38页 |
| 4.1.1 纯气体实验条件测试 | 第26-31页 |
| 4.1.2 混合气体实验条件测试 | 第31-36页 |
| 4.1.3 放电照片灰度波动系数 | 第36-38页 |
| 4.2 定性分析实验 | 第38-45页 |
| 4.2.1 氩甲烷定性实验 | 第38-41页 |
| 4.2.2 乙炔定性实验 | 第41-44页 |
| 4.2.3 氟利昂定性实验 | 第44-45页 |
| 4.3 定量分析实验 | 第45-48页 |
| 4.3.1 静态配气技术 | 第45-46页 |
| 4.3.2 乙炔体积分数的拟合直线 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 结论与展望 | 第49-52页 |
| 5.1 结论 | 第49-50页 |
| 5.2 有待进一步研究的问题 | 第50页 |
| 5.3 展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 研究生期间发表的论文和获奖情况 | 第57页 |
