| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 文献综述 | 第10-22页 |
| 1.1 三氯氢硅的性质及应用 | 第10-14页 |
| 1.1.1 三氯氢硅的物理、化学性质 | 第10-11页 |
| 1.1.2 三氯氢硅的应用 | 第11-14页 |
| 1.2 三氯氢硅发展现状及市场分析 | 第14-15页 |
| 1.3 三氯氢硅生产工艺概况及发展趋势 | 第15-18页 |
| 1.3.1 还原法（以四氯化硅、氢气、硅粉为原料） | 第15-16页 |
| 1.3.2 硅氢氯化法（以硅粉、氯化氢为原料） | 第16页 |
| 1.3.3 工艺对比 | 第16-17页 |
| 1.3.4 三氯氢硅生产的发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.4 硅氢氯化法工艺介绍 | 第18-22页 |
| 1.4.1 流程介绍 | 第18-19页 |
| 1.4.2 工艺原理 | 第19页 |
| 1.4.3 存在的问题 | 第19-20页 |
| 1.4.4 研究的目的意义 | 第20-22页 |
| 第2章 研究内容和实验方法 | 第22-28页 |
| 2.1 研究内容 | 第22-23页 |
| 2.2 实验原料和设备 | 第23页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第23页 |
| 2.2.2 实验设备 | 第23页 |
| 2.3 实验方法和表征手段 | 第23-28页 |
| 2.3.1 硅粉中杂质的检测 | 第24页 |
| 2.3.2 氢气露点的测定 | 第24页 |
| 2.3.3 氯化氢中含水量的测定 | 第24-25页 |
| 2.3.4 氯化氢纯度的测定 | 第25页 |
| 2.3.5 液体氯硅烷的成份测定 | 第25-26页 |
| 2.3.6 液体氯硅烷中杂质元素的测定 | 第26-28页 |
| 第3章 工艺问题分析及优化研究 | 第28-60页 |
| 3.1 三氯氢硅合成炉的物料衡算 | 第28-30页 |
| 3.2 氯化氢合成工序的问题分析及优化研究 | 第30-40页 |
| 3.2.1 工艺流程 | 第30页 |
| 3.2.2 问题分析 | 第30-31页 |
| 3.2.3 控制氯化氢水含量的实验 | 第31-34页 |
| 3.2.3.1 氯化氢气体中水分的来源及危害 | 第31页 |
| 3.2.3.2 实验数据 | 第31页 |
| 3.2.3.3 结果讨论 | 第31-32页 |
| 3.2.3.4 优化措施 | 第32-34页 |
| 3.2.4 控制氯化氢纯度的实验 | 第34-38页 |
| 3.2.4.1 理论依据 | 第34-35页 |
| 3.2.4.2 实验数据 | 第35-36页 |
| 3.2.4.3 结果讨论 | 第36-38页 |
| 3.2.4.4 优化措施 | 第38页 |
| 3.2.5 氯化氢气体回收工艺研究 | 第38-40页 |
| 3.2.5.1 工艺原理 | 第38-39页 |
| 3.2.5.2 工艺流程 | 第39-40页 |
| 3.2.5.3 优化效果 | 第40页 |
| 3.3 三氯氢硅合成工序的问题分析及优化研究 | 第40-52页 |
| 3.3.1 工艺流程 | 第40页 |
| 3.3.2 问题分析 | 第40-42页 |
| 3.3.3 氯化氢进气管道结构的优化研究 | 第42-44页 |
| 3.3.4 风帽结构的优化研究 | 第44-47页 |
| 3.3.4.1 原风帽结构 | 第44-46页 |
| 3.3.4.2 优化后风帽的结构 | 第46-47页 |
| 3.3.4.3 优化效果 | 第47页 |
| 3.3.5 温水换热器结构的优化研究 | 第47-48页 |
| 3.3.6 硅粉杂质对合成反应影响的优化研究 | 第48-50页 |
| 3.3.6.1 理论依据 | 第48-49页 |
| 3.3.6.2 实验数据 | 第49页 |
| 3.3.6.3 结果讨论 | 第49-50页 |
| 3.3.7 压差控制的优化研究 | 第50-52页 |
| 3.3.7.1 理论依据 | 第50页 |
| 3.3.7.2 实验数据 | 第50-51页 |
| 3.3.7.3 结果讨论 | 第51-52页 |
| 3.4 合成气体除尘冷凝工序的问题分析及优化研究 | 第52-55页 |
| 3.4.1 工艺流程 | 第52页 |
| 3.4.2 问题分析 | 第52-53页 |
| 3.4.3 气体干式除尘及除杂设备的优化研究 | 第53-55页 |
| 3.4.3.1 理论依据 | 第53页 |
| 3.4.3.2 优化措施 | 第53-55页 |
| 3.4.3.3 优化效果 | 第55页 |
| 3.5 合成尾气综合回收工序的问题分析及优化研究 | 第55-60页 |
| 3.5.1 工艺流程 | 第55-56页 |
| 3.5.2 问题分析 | 第56-57页 |
| 3.5.3 合成尾气回收工艺的优化研究 | 第57-60页 |
| 3.5.3.1 理论依据 | 第57页 |
| 3.5.3.2 工艺流程 | 第57-58页 |
| 3.5.3.3 优化效果 | 第58-60页 |
| 第4章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 4.1 论文结论 | 第60-61页 |
| 4.2 论文展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 参加科研情况说明 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |