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一种新型抛光磨头周期摆动机构优化与工作性能分析

摘要第5-6页
Abstract第6页
引言第12-14页
1 绪论第14-18页
    1.1 课题来源第14页
    1.2 课题研究背景第14-15页
    1.3 国内外抛光磨头的研究现状第15-16页
    1.4 课题主要研究内容第16-17页
    1.5 课题的研究意义第17-18页
2 抛光磨头周期摆动机构基本理论第18-38页
    2.1 新型抛光磨头的结构与原理第18-20页
        2.1.1 MT268抛光磨头的结构与原理第18-19页
        2.1.2 新型抛光磨头的结构与原理第19-20页
    2.2 周期摆动机构的结构与原理第20-21页
        2.2.1 周期摆动机构的结构与原理第20-21页
        2.2.2 影响周期摆动机构工作性能的主要因素第21页
    2.3 周期摆动机构的设计理论第21-29页
        2.3.1 凸轮和摆杆的运动关系第21-23页
        2.3.2 主动摆杆运动规律第23-29页
    2.4 凸轮轮廓曲线的理论计算第29-34页
        2.4.1 凸轮理论轮廓线的设计第29-32页
        2.4.2 凸轮压力角理论的计算第32-34页
    2.5 凸轮轮廓曲线的实际计算第34-36页
    2.6 本章小结第36-38页
3 周期摆动机构建模第38-54页
    3.1 MATLAB绘制凸轮轮廓曲线第38-41页
        3.1.1 MATLAB简介第38页
        3.1.2 MATLAB绘制凸轮展开轮廓曲线第38-41页
    3.2 周期摆动机构建模第41-46页
        3.2.1 空间凸轮常用建模方法第41-42页
        3.2.2 周期摆动机构凸轮建模第42-44页
        3.2.3 周期摆动机构其它零件建模第44-46页
    3.3 周期摆动机构装配体建立第46-48页
        3.3.1 抛光磨头装配体建立第46-47页
        3.3.2 周期摆杆机构装配体建立第47-48页
    3.4 周期摆杆机构关键部件工艺分析第48-52页
        3.4.1 凸轮工艺分析第48-49页
        3.4.2 磨头座工艺分析第49-52页
    3.5 本章小结第52-54页
4 周期摆动机构性能仿真第54-68页
    4.1 周期摆动机构关键零件有限元分析第54页
        4.1.1 ANSYS简介第54页
    4.2 凸轮的疲劳分析第54-57页
        4.2.1 疲劳分析的介绍第54-55页
        4.2.2 凸轮疲劳的特性分析第55-57页
    4.3 凸轮模态分析第57-60页
        4.3.1 模态分析的介绍第57-58页
        4.3.2 凸轮振动模态的特性分析第58-60页
    4.4 ADAMS运动仿真分析第60-66页
        4.4.1 ADAMS简介第60-61页
        4.4.2 周期摆动机构仿真模型的建立第61-62页
        4.4.3 运动仿真第62-66页
    4.5 本章小结第66-68页
5 总结与展望第68-70页
    5.1 总结第68页
    5.2 展望第68-70页
参考文献第70-74页
致谢第74-76页
作者简介及读研期间主要科研成果第76页

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