激光加工石英微通道过程中热应力的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-12页 |
| 1.1 激光打孔 | 第6-8页 |
| 1.2 石英玻璃的传统加工方法 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.4 论文研究的目的、内容和章节安排 | 第11-12页 |
| 第二章 激光与材料相互作用的理论基础 | 第12-20页 |
| 2.1 材料对激光的反射和吸收 | 第12-14页 |
| 2.1.1 材料对激光的吸收 | 第12-14页 |
| 2.2 热传导方程和边界条件 | 第14-17页 |
| 2.2.1 热传导方程 | 第14页 |
| 2.2.2 初始条件和边界条件 | 第14-16页 |
| 2.2.3 热源的选取方式 | 第16-17页 |
| 2.3 激光辐照固体材料的热模型 | 第17-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 温度场的有限差分法计算 | 第20-32页 |
| 3.1 有限差分法简介 | 第20页 |
| 3.2 激光辐照石英玻璃的一维差分模型 | 第20-30页 |
| 3.2.1 连续激光以均匀光斑辐照 | 第23-25页 |
| 3.2.2 考虑热累积的影响 | 第25-28页 |
| 3.2.3 脉冲激光以均匀光斑辐照 | 第28-30页 |
| 3.3 高斯脉冲激光辐照 | 第30-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 温度场和热应力场的有限元计算 | 第32-45页 |
| 4.1 有限元方法和COMSOL软件简介 | 第32-33页 |
| 4.1.1 有限元方法介绍 | 第32页 |
| 4.1.2COMSOL软件介绍 | 第32-33页 |
| 4.2 温度场的有限元计算 | 第33-40页 |
| 4.2.1 连续激光辐照 | 第34-38页 |
| 4.2.2 脉冲激光辐照 | 第38-40页 |
| 4.3 热应力场的计算 | 第40-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 总结与展望 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 硕士期间论文发表及科研情况 | 第51-52页 |
