| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 课题的研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外发展研究现状与趋势 | 第13-15页 |
| 1.3.1 工业冷却水类型介绍 | 第13-14页 |
| 1.3.2 国内外温度测量控制技术的发展 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要工作内容 | 第15-16页 |
| 1.5 本文章节结构安排 | 第16-17页 |
| 第二章 蓝宝石单晶生长技术与工艺流程分析 | 第17-21页 |
| 2.1 蓝宝石单晶的特性以及生长方法 | 第17-18页 |
| 2.2 泡生法蓝宝石单晶的生长工艺流程 | 第18-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 泡生法蓝宝石单晶炉的冷却水自动控制系统的硬件设计 | 第21-40页 |
| 3.1 冷却水循环系统结构设计 | 第21-24页 |
| 3.2 冷却水系统的PLC选型 | 第24-25页 |
| 3.3 变频器原理及应用 | 第25-27页 |
| 3.4 制冷系统的选型与计算 | 第27-32页 |
| 3.4.1 制冷系统的额定工况计算 | 第27-29页 |
| 3.4.2 压缩机选型及热力计算 | 第29-32页 |
| 3.5 传感器选型 | 第32-33页 |
| 3.6 系统主要模块硬件接线图设计 | 第33-39页 |
| 3.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 模糊PID控制器的研究与设计 | 第40-54页 |
| 4.1 常规PID控制原理及应用 | 第40-44页 |
| 4.2 模糊控制器的组成及原理 | 第44-47页 |
| 4.2.1 模糊控制器的组成 | 第44-45页 |
| 4.2.2 模糊控制器的原理 | 第45-47页 |
| 4.3 模糊PID控制器设计 | 第47-53页 |
| 4.3.1 模糊PID控制器结构 | 第47-48页 |
| 4.3.2 PID参数模糊自整定控制规则 | 第48-52页 |
| 4.3.3 建立仿真模型和结果分析 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 泡生法蓝宝石单晶炉冷却水自动控制系统的软件设计 | 第54-63页 |
| 5.1 冷却水PLC控制结构设计 | 第54页 |
| 5.2 下位机控制系统程序编写 | 第54-59页 |
| 5.2.1 I/O地址点位分配表 | 第54-55页 |
| 5.2.2 PLC主程序编写 | 第55-57页 |
| 5.2.3 手/自动程序的编写 | 第57-59页 |
| 5.3 上位机软件开发 | 第59-62页 |
| 5.3.1 上位机与PLC之间的串口通讯实现 | 第59-60页 |
| 5.3.2 上位机开发设计与实现 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 泡生法蓝宝石长晶炉的冷却水控制系统调试及分析 | 第63-67页 |
| 6.1 电气控制线路调试 | 第63页 |
| 6.2 变频器参数的设定和调试 | 第63-64页 |
| 6.3 PLC程序运行调试 | 第64-66页 |
| 6.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第七章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 7.1 本文的主要工作与创新点 | 第67页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
