微梁动力学特性的尺寸效应研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-10页 |
| 1.1 选题背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 本文的主要研究工作 | 第9-10页 |
| 2 微机电系统的尺寸效应研究 | 第10-21页 |
| 2.1 微机电系统 | 第10-16页 |
| 2.1.1 微压力传感器 | 第11-13页 |
| 2.1.2 微加速度传感器 | 第13-14页 |
| 2.1.3 微机械陀螺仪 | 第14-16页 |
| 2.2 微结构力学实验 | 第16-18页 |
| 2.3 微梁尺寸效应的研究进展 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-21页 |
| 3 广义弹性力学及其有限元方程 | 第21-30页 |
| 3.1 广义弹性力学模型 | 第21-25页 |
| 3.1.1 各类弹性理论研究进展 | 第21-22页 |
| 3.1.2 广义弹性力学理论 | 第22-25页 |
| 3.2 广义弹性力学有限元方程 | 第25-28页 |
| 3.2.1 数值方法研究进展 | 第25-26页 |
| 3.2.2 广义弹性动力学有限元方程 | 第26-28页 |
| 3.3 本章小结 | 第28-30页 |
| 4 微梁动力学特性尺寸效应分析 | 第30-37页 |
| 4.1 悬臂微梁固有频率及模态的尺寸效应 | 第30-34页 |
| 4.1.1 固有频率尺寸效应分析 | 第30-32页 |
| 4.1.2 基于模态分析固有频率尺寸效应 | 第32-34页 |
| 4.2 两端固支微梁固有频率及其模态的尺寸效应 | 第34-36页 |
| 4.2.1 基于模态分析固有频率尺寸效应 | 第35页 |
| 4.2.2 与悬臂微梁对比分析 | 第35-36页 |
| 4.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 5 定轴旋转梁的动力学特性分析 | 第37-51页 |
| 5.1 离心转动下广义弹性动力学模型 | 第37-45页 |
| 5.1.1 离心转动下广义弹性动力学方程 | 第37-41页 |
| 5.1.2 离心转动下经典动力学有限元方程 | 第41-42页 |
| 5.1.3 离心转动下广义弹性动力学有限元方程 | 第42-45页 |
| 5.2 恒转速旋转梁动力学特性分析 | 第45-50页 |
| 5.2.1 宏观旋转梁动力学特性分析 | 第45-49页 |
| 5.2.2 微观旋转梁动力学特性分析 | 第49-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 6 结论与展望 | 第51-53页 |
| 6.1 结论与讨论 | 第51-52页 |
| 6.2 工作展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 附录 | 第59页 |
| A.作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59页 |
| B.作者在攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第59页 |
